磁控溅射是一种薄膜沉积技术,与其他方法相比具有多种优势。
磁控溅射的 5 大优势
1.高沉积率
磁控溅射结合使用磁场和电场,将粒子限制在目标表面附近。
这样可以提高离子密度和溅射率。
因此,磁控溅射具有很高的沉积率,比其他物理气相沉积 (PVD) 方法更有效。
2.材料沉积的多功能性
与需要对目标材料进行热蒸发或熔化的方法不同,磁控溅射不需要高温。
因此可以沉积多种材料,包括高熔点材料。
3.薄膜的高纯度和高附着力
该工艺涉及使用磁约束等离子体。
这减少了薄膜中的气体掺杂,并将溅射原子的能量损失降至最低。
因此,薄膜纯度高,与基底的附着力极佳。
4.大面积基底上的均匀性
磁控溅射可在大面积基底上均匀沉积薄膜。
这对于要求大面积薄膜性能一致的应用至关重要。
5.低温操作
沉积过程在相对较低的温度下进行。
这有利于保持对温度敏感的基底的完整性。
它还有助于保持沉积材料的结构和化学特性。
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