溅射是一种物理过程，在高能离子轰击下，固态目标材料中的原子被喷射到气相中。
这种技术广泛用于薄膜沉积和各种分析技术。
6 个关键步骤说明
1.工艺启动
工艺开始时，将基底置于充满惰性气体（通常为氩气）的真空室中。
这种环境是防止化学反应干扰沉积过程所必需的。
2.生成等离子体
目标材料（阴极）带负电荷，导致自由电子从阴极流出。
这些自由电子与氩气原子碰撞，通过剥离电子使其电离并产生等离子体。
3.离子轰击
等离子体中带正电荷的氩离子在电场的作用下加速冲向带负电荷的目标。
当这些离子与目标碰撞时，它们会传递动能，导致目标材料中的原子或分子喷射出来。
4.材料沉积
喷射出的材料形成蒸汽流，穿过腔室并沉积到基底上。
从而在基底上形成薄膜或涂层。
5.溅射类型
溅射系统有多种类型，包括离子束溅射和磁控溅射。
离子束溅射是将离子电子束直接聚焦在靶材上，将材料溅射到基底上。
磁控溅射使用磁场来增强气体的电离和溅射过程的效率。
6.应用和优势
溅射特别适用于沉积成分精确的薄膜，包括合金、氧化物、氮化物和其他化合物。
这种多功能性使其在电子、光学和纳米技术等需要高质量薄膜涂层的行业中不可或缺。
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