真空泄漏测试的范围通常以微米/小时为单位测量泄漏率。对于超合金或活性金属加工等关键应用，泄漏率应小于 5 微米/小时。对于普通真空应用，可接受的泄漏率一般在 10 到 20 微米/小时之间。
泄漏率测试包括将炉子抽至规定的低压，通常为 1 x 10^-4 托或更低，然后将抽气系统与炉腔隔离。30 分钟后监测并记录真空度，60 分钟后再次监测并记录真空度。这段时间内真空度的差异被用来计算以微米/小时为单位的泄漏率，然后将其与管理规范中规定的验收标准进行比较。
这种方法可确保真空系统保持其完整性和性能，防止出现任何可能影响真空度和窑炉整体效率的严重漏气或漏水现象。使用特定的检漏方法，如吹气法或使用氦质谱仪的吸嘴法，可进一步提高检漏过程的准确性和可靠性。
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