真空检漏的范围是多少？为您的系统选择正确的灵敏度

从本质上讲，真空检漏的“范围”指的是进行测试时的真空度（压力）。这不是一个单一的数值，因为测试可以在粗真空（接近大气压）到超高真空之间的任何地方进行。您测试的具体压力范围直接决定了您能够检测到的最小泄漏尺寸。

基本原理是：您实现的真空度越深，能找到的泄漏就越小、越细微。因此，选择测试范围是基于真空系统所需的完整性和操作压力所做的战略决策。

真空度如何决定泄漏检测

真空系统的完整性仅取决于您能找到并修复的泄漏程度。您可以达到的真空度是控制您的泄漏检测方法灵敏度的主要因素。

粗真空/低真空范围（1000 至 1 mbar）

在此范围内，您要寻找的是宏观泄漏（Gross Leaks）。这些是阻止系统首先达到深真空的大泄漏。

这里使用的方法通常很简单，例如在隔离真空泵后监测压力上升速率（“升压速率”或“压力衰减”测试）。

精真空/中真空范围（1 至 10⁻³ mbar）

进入中真空后，您可以开始识别在粗真空范围内可能遗漏的较小泄漏。

虽然升压速率测试仍然可以使用，但其灵敏度会降低。此范围通常作为过渡到更复杂方法的关口。

高真空和超高真空范围（< 10⁻³ mbar）

这是高灵敏度泄漏检测的领域。要找到影响高纯度工艺或长期真空稳定性的微小泄漏，您必须在此低压下进行测试。

正如真空炉测试程序中所指出的，这里的黄金标准方法是使用氦质谱仪。该设备需要高真空才能有效运行，因为它需要将少数示踪气体原子与背景气体区分开来。

示踪气体检测的作用

仅仅抽真空只能告诉您是否存在泄漏；它不能告诉您泄漏的位置或其真实大小。为此，您需要一种更先进的技术。

氦气检漏原理

此方法涉及将系统抽至高真空，然后在怀疑有泄漏点的外部喷洒少量惰性示踪气体，通常是氦气。

如果存在泄漏，氦原子会被吸入真空系统并传输到检测器——即专门用于检测它们的质谱仪。

为什么需要高真空

氦质谱仪非常灵敏，但它无法在高压环境下工作。

系统必须处于高真空状态（例如，低于 10⁻⁴ mbar），这样通过泄漏进入的少量氦原子才能不受阻碍地传输到检测器，而不会与其他气体分子碰撞。这就是为什么在找到微小泄漏之前必须先修复宏观泄漏的原因。

理解权衡

选择泄漏检测范围不仅仅是追求尽可能高的真空度。它涉及在灵敏度与实用性之间取得平衡。

灵敏度与时间及成本

实现高真空或超高真空需要大量时间和强大的、昂贵的泵系统。氦质谱仪也是一项重大投资。相比之下，在粗真空下测试宏观泄漏则相对快速且便宜。

宏观泄漏会掩盖微小泄漏

一个常见的陷阱是在存在宏观泄漏时试图寻找微小泄漏。大泄漏会阻止系统达到灵敏的氦检测器工作所需的高真空水平，使测试无效。

测试方法的局限性

简单的升压速率测试可用于确认泄漏存在，但不能提供有关其位置的信息。它也缺乏检测高真空和超高真空应用中关键泄漏的灵敏度。

根据您的目标做出正确的选择

正确的测试范围完全取决于您系统的操作要求以及潜在泄漏的后果。

• 如果您的主要重点是常规处理或维持粗真空： 在粗真空到中真空范围内进行的压力衰减测试通常足以找到影响性能的泄漏。
• 如果您的主要重点是高纯度制造、科学研究或长期真空稳定性： 您必须使用氦质谱仪在**高真空或超高真空范围**内进行测试，以找到可能影响您工作的微小泄漏。

最终，将测试灵敏度与应用需求相匹配，可以确保系统可靠性，而无需不必要的工作或开支。

摘要表：

真空范围	压力范围	检测到的泄漏类型	常用测试方法
粗真空/低真空	1000 至 1 mbar	宏观泄漏	压力衰减/升压速率
精真空/中真空	1 至 10⁻³ mbar	较小泄漏	过渡到灵敏方法
高真空/超高真空	< 10⁻³ mbar	微小泄漏	氦质谱仪

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