真空泄漏测试是用于测量泄漏率（以微米/小时为单位）的重要程序。
该测试对于确保真空系统的完整性和性能至关重要。
真空泄漏测试的范围是什么？ （3 个要点）
1.关键应用的泄漏率
对于超合金或活性金属加工等关键应用，泄漏率应小于 5 微米/小时。
2.正常真空应用的泄漏率
对于正常真空应用，可接受的泄漏率一般在 10 到 20 微米/小时之间。
3.进行泄漏率测试的方法
泄漏率测试包括将真空炉抽至指定的低压，通常为 1 x 10^-4 托或更低。
然后将抽气系统与炉腔隔离。
30 分钟后监测并记录真空度，60 分钟后再次监测并记录真空度。
在此期间的真空度差值被用来计算以微米/小时为单位的泄漏率。
然后将计算出的泄漏率与管理规范规定的验收标准进行比较。
这种方法可确保真空系统保持其完整性和性能。
它可以防止任何可能影响真空度和窑炉整体效率的严重漏气或漏水现象。
使用特定的检漏方法，如吹气法或氦质谱仪吸嘴法，可进一步提高检漏过程的准确性和可靠性。
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