扩散泵的起始压力通常为大气压,约为 760 托(101 千帕)。这是泵开始运行时的初始压力,用于降低真空室中的压力,以达到高真空度。
说明:
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初始压力和抽气顺序: 在典型的设置中,实现高真空的过程始于大气压。最初使用正排量泵将压力从大气压(760 托,101 千帕)降低到约 25 托(3 千帕)。这一步非常关键,因为它可以将大部分气体排出腔室。
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使用扩散泵: 初始降压后,需要使用扩散泵等更专业的泵。扩散泵设计用于实现极低的压力,通常在 10-2 到 10-6 托之间。在其他泵将压力降低到可以控制的水平后,扩散泵就可以接手并进一步完善真空条件,这对扩散泵尤为有效。
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操作要求: 扩散泵不能独立运行;它们需要一个前级泵(通常是机械泵)来维持扩散泵入口处较低的压力。这种设置可确保扩散泵能有效地将压力降低到所需的高真空水平,而不会被初始的高压压垮。
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系统配置: 根据真空系统的具体要求,可以使用不同配置的泵。例如,双级系统可以从大气压开始,使用泵的组合来达到 4.5 x 10-2 托的压力,而使用扩散泵的三级系统则可以达到更低的压力,如 8.0 x 10-6 托。
总之,真空系统中扩散泵的起始压力为大气压,系统从大气压开始逐步抽真空,以达到所需的高真空条件。所用泵的顺序和类型取决于具体的真空要求和所处理材料的性质。
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