扩散泵的起始压力通常为大气压，约为 760 托（101 千帕）。
这是泵开始运行时的初始压力，用于降低真空室中的压力，以达到高真空度。
4 个要点说明
1.初始压力和抽气顺序
在典型的设置中，实现高真空的过程始于大气压。
最初使用正排量泵将压力从大气压（760 托，101 千帕）降至约 25 托（3 千帕）。
这一步非常关键，因为它能将腔室中的大部分气体抽走。
2.使用扩散泵
初始降压后，需要使用扩散泵等更专业的泵。
扩散泵设计用于实现极低的压力，通常在 10-2 到 10-6 托之间。
在其他泵将压力降低到可以控制的水平后，扩散泵就可以接手并进一步完善真空条件，因此它们特别有效。
3.运行要求
扩散泵不能独立运行；它们需要一个前级泵（通常是机械泵）来维持扩散泵入口处较低的压力。
这种设置可确保扩散泵能有效地将压力降低到所需的高真空水平，而不会被初始的高压压垮。
4.系统配置
根据真空系统的具体要求，可以使用不同配置的泵。
例如，双级系统可以从大气压开始，使用泵的组合来达到 4.5 x 10-2 托的压力。
使用扩散泵的三级系统可以达到更低的压力，如 8.0 x 10-6 托。
总之，真空系统中扩散泵的起始压力为大气压，系统从大气压开始逐步抽真空，以达到所需的高真空条件。
使用泵的顺序和类型取决于具体的真空要求和所处理材料的性质。
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