真空泵的真空度是指真空泵可以达到的压力水平。
不同类型的真空泵提供不同的真空度。
真空度通常分为不同的压力范围。
1.粗真空
此范围为 10^3 毫巴至 1 毫巴(760 托至 0.75 托)。
2.中真空
此范围为 1 毫巴至 10^-3 毫巴(0.75 至 7.5^-3 托)。
3.高真空
此范围为 10^-3 毫巴至 10^-7 毫巴(7.5^-3 至 7.5^-7 托)。
4.超高真空
此范围为 10^-7 mbar 至 10^-11 mbar(7.5^-7 至 7.5^-11 Torr)。
5.极高真空
此范围低于 10^-11 毫巴(< 7.5^-11 托)。
极限真空是真空泵可以提供的最低压力水平。
它是流量降为零的点,意味着真空泵不能再移动蒸汽。
选择真空泵时,必须考虑特定应用所需的真空度。
例如,隔膜真空泵可提供低至 0.3 毫巴的极限真空,而旋片真空泵可提供低至 2 x 10^-3 毫巴的极限真空。
真空深度是指达到的真空度,会影响化合物的沸点。
真空深度越大,沸点越低。
因此,在选择真空泵时,必须考虑所用化合物的沸点。
如果要使用高沸点化合物,购买真空深度更大的真空泵可能更有优势。
工业真空泵分为超高真空(UHV)类型。
超高真空泵的特点是压力低于约 100 纳帕斯卡(10^-7 帕斯卡,10^-9 毫巴,~10^-9 托)。
这些泵通常是双级真空泵。
双级真空泵的设计是在工业生产中达到超高真空水平的首选。
它包含两组转子和叶片,可以利用低真空级和高真空级。
高真空级吸入工艺气体并将其输送到第二个低真空级,将气体压缩至大气压,从而提高泵的真空性能。
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