知识 扩散泵用于何处?4 种主要应用说明
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

扩散泵用于何处?4 种主要应用说明

扩散泵在需要高真空度(通常为 10^-2 至 10^-10 托)的工业应用中至关重要。

由于没有活动部件,这些泵因其耐用性和可靠性而备受推崇。

它们的工作原理是利用沸腾流体的蒸气捕获空气分子,然后将其移动并冷却以释放空气。

这种方法使其适用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等应用。

扩散泵用于何处?4 种主要应用说明

扩散泵用于何处?4 种主要应用说明

1.工作原理

扩散泵与机械泵的不同之处在于,它们不依靠活塞或鳍片等机械部件来置换空气。

相反,它们利用流体(通常指油)经过沸腾产生蒸汽。

蒸汽向下流动,在流动过程中捕捉空气分子。

捕获的空气随后被输送到泵的另一个部分,在那里进行冷却,使空气分子从流体中分离出来。

这一过程由重力和向下流动的蒸汽共同驱动,有效地将空气分子向泵底部移动。

2.应用

扩散泵可以达到很高的真空度,因此在各种工业环境中都非常重要。

例如,在电子束显微镜中,需要使用高真空来防止电子与空气分子之间发生碰撞,从而导致电子束变形。

同样,在真空沉积和涂层中,高真空可确保材料均匀沉积,不受空气污染。

在真空炉中,高真空条件对热处理过程至关重要,可防止氧化并实现精确的温度控制。

3.维护和兼容性

扩散泵的维护包括检查油位和确保加热器正常工作。

加热系统的设计通常包括一个管状元件、一个压板和一个夹紧板,需要仔细校准才能正常工作。

此外,在创建真空的初始阶段,扩散泵通常与粗抽泵(机械泵和鼓风机)一起使用。

这些粗抽泵负责将初始抽气压力从大气压降至中间水平,然后由扩散泵接手,以达到特定应用所需的超高真空度。

4.推荐制造商

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