扩散泵主要用于需要高真空度（通常为 10^-2 至 10^-10 托）的工业应用。由于没有活动部件，这些泵以其耐用性和可靠性而著称。它们的工作原理是利用沸腾流体的蒸气捕获空气分子，然后将其移动并冷却以释放空气。这种方法使其适用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等应用。
详细说明：
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工作原理： 扩散泵与机械泵的不同之处在于，它们不依靠活塞或鳍片等机械部件来置换空气。相反，它们利用流体（通常称为油）经过沸腾产生蒸汽。蒸汽向下流动，在流动过程中捕捉空气分子。捕获的空气随后被输送到泵的另一个部分，在那里进行冷却，使空气分子从流体中分离出来。这一过程由重力和蒸汽向下流动共同驱动，有效地将空气分子向泵底部移动。
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应用： 扩散泵可以达到很高的真空度，因此在各种工业环境中都非常重要。例如，在电子束显微镜中，需要使用高真空来防止电子和空气分子之间发生碰撞，从而导致电子束变形。同样，在真空沉积和涂层中，高真空可确保材料均匀沉积，不受空气污染。在真空炉中，高真空条件对热处理过程至关重要，可防止氧化并实现精确的温度控制。
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维护和兼容性： 扩散泵的维护包括检查油位和确保加热器正常工作。加热系统的设计通常包括一个管状元件、一个压板和一个夹紧板，需要仔细校准才能正常工作。此外，在创建真空的初始阶段，扩散泵通常与粗抽泵（机械泵和鼓风机）一起使用。这些粗抽泵负责将初始抽气压力从大气压降至中间水平，然后由扩散泵接管，以达到特定应用所需的超高真空度。
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推荐制造商： 文中推荐使用瓦里安公司生产的扩散泵，该公司以其高质量的设备和在业界的长期声誉而著称。这种对美国制造泵的偏爱强调了可靠性和性能在关键工业应用中的重要性。
总之，扩散泵是需要高真空条件的行业不可或缺的设备，利用其独特的流体夹带机制，可在各种应用中提供可靠耐用的性能。
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