知识 SEM 是否需要溅射涂层?
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 1周前

SEM 是否需要溅射涂层?

是的,对于某些类型的样品,尤其是不导电或导电性差的样品,扫描电子显微镜需要溅射涂层。溅射涂层是在试样上涂上一层超薄的导电金属,以防止带电并提高 SEM 图像的质量。

解释:

  1. 防止充电: 非导电或导电性差的样品在扫描电子显微镜(SEM)的电子束作用下会积累静电场。这种积累称为充电,会使图像失真并干扰 SEM 的运行。通过溅射镀膜涂上导电涂层,电荷就会消散,从而防止图像变形,确保图像清晰。

  2. 提高图像质量: 溅射涂层不仅能防止带电,还能增加试样表面的二次电子发射。二次电子发射的增加提高了信噪比,这对于在扫描电子显微镜中获得高质量的细节图像至关重要。通常使用的涂层材料包括金、金/钯、铂、银、铬或铱,这些材料具有导电性,能够形成稳定的薄膜,不会遮挡样品的细节。

  3. 适用于具有挑战性的样品: 某些样品,尤其是对光束敏感或不导电的样品,能从溅射镀膜中受益匪浅。否则,这些样品可能难以在扫描电子显微镜中有效成像,而不会造成损坏,或因充电或低信号而产生质量较差的图像。

结论

在处理不导电或导电性差的材料时,溅射涂层是扫描电子显微镜必要的样品制备技术。它能确保样品在电子束下不带电,从而保持图像的完整性,并能在纳米级水平上进行精确细致的观察。

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