真空泄漏率的测量方法是将真空室与抽气系统隔离，并观察一定时间内真空度的变化。泄漏率通常以微米/小时表示。
测量过程：
- 初始抽气： 首先将真空炉抽至特定真空度，通常为 1 x 10^-4 torr 或更高。这一步骤可确保系统在隔离前处于基线真空状态。
- 隔离： 然后将抽气系统与炉腔隔离。具体方法是关闭所有真空阀门，以防止进一步的抽气动作。
- 监测真空度： 在设定时间后记录真空度，通常是 30 分钟后和 60 分钟后。这一间隔时间可用于检测泄漏导致的任何压力上升。
- 计算泄漏率： 通过比较记录的真空度来计算泄漏率。通过时间段内压力读数的差异来确定泄漏率，单位为微米/小时。例如，如果压力在 60 分钟内从 1 x 10^-4 托上升到 1.0001 x 10^-4 托，则泄漏率为每小时 (1.0001 - 1) x 10^4 微米。
重要性和验收标准：
- 关键应用： 对于加工超合金或活性金属等关键应用，泄漏率必须小于 5 微米/小时，以确保加工材料的完整性和质量。
- 正常应用： 对于正常真空应用，泄漏率不应超过 10 - 20 微米/小时。更高的泄漏率会导致残余氧含量显著增加，从而对热处理过程产生不利影响。
- 定期检查： 建议定期检查泄漏率，以保持系统的完整性，防止出现因氧气含量较高而导致热处理效果不佳的问题。
方法的准确性：
所述方法通过隔离系统并让压力保持稳定来确保泄漏率的准确测量，这直接反映了空气泄漏到腔室中的速度。这种方法对于保持真空炉运行的效率和效果至关重要，可确保设备符合各种应用的必要规格。
