测量真空泄漏率对于保持真空系统的完整性和效率至关重要。
这一过程包括将真空室与抽气系统隔离，并观察真空度在指定时间内的变化。
泄漏率通常以微米/小时表示。
确保精度的 4 个关键步骤
1.初始抽气
首先将真空炉抽至特定真空度，通常为 1 x 10^-4 torr 或更高。
这一步骤可确保系统在隔离前处于基线真空状态。
2.隔离
然后将抽气系统与炉腔隔离。
具体方法是关闭所有真空阀，以防止进一步的抽气动作。
3.监测真空度
在设定时间后记录真空度，通常是 30 分钟后和 60 分钟后。
在此时间间隔内可检测到任何因泄漏而导致的压力上升。
4.计算泄漏率
泄漏率是通过比较记录的真空度来计算的。
通过时间段内压力读数的差异来确定泄漏率，单位为微米/小时。
例如，如果压力在 60 分钟内从 1 x 10^-4 托上升到 1.0001 x 10^-4 托，则泄漏率为每小时 (1.0001 - 1) x 10^4 微米。
重要性和验收标准
关键应用
对于加工超合金或活性金属等关键应用，泄漏率必须小于 5 微米/小时，以确保加工材料的完整性和质量。
正常应用
对于正常真空应用，泄漏率不应超过 10 - 20 微米/小时。
更高的泄漏率会导致残余氧含量显著增加，从而对热处理过程产生不利影响。
定期检查
建议定期检查泄漏率，以保持系统的完整性，防止因氧气含量较高而导致热处理效果不佳。
方法的准确性
所述方法通过隔离系统并让压力保持稳定来确保泄漏率的准确测量。
这直接反映了空气漏入腔室的速率。
这种方法对于保持真空炉运行的效率和有效性至关重要，可确保设备符合各种应用的必要规格。
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