虽然没有一个官方的数字，但溅射技术最好通过其基本技术来理解，这些技术可分为几个主要类别。主要类型是直流溅射、射频溅射、磁控溅射（增强直流和射频）和反应性溅射。对于高度专业化的应用，还存在像高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）和离子束溅射等更先进的变体。
溅射的“类型”不仅仅是一个标签；它代表了一种特定的工程解决方案，旨在克服根本性的限制，例如沉积绝缘材料的能力或对更快沉积速率的需求。正确的选择完全取决于您需要沉积的材料以及您需要实现的薄膜特性。
基础溅射技术
从本质上讲，溅射利用等离子体轰击源材料（“靶材”），将原子击出，然后这些原子沉积在基板上形成薄膜。两种基本方法由用于产生等离子体的电力类型定义。
直流溅射：原始方法
直流（DC）溅射是最简单的形式。在充满惰性气体（如氩气）的真空室中，向靶材施加高直流电压。
这会产生等离子体，正氩离子被加速撞击带有负电荷的靶材，从而溅射出原子。其主要限制是它仅适用于电导体靶材。
射频溅射：绝缘体的解决方案
当尝试用直流源溅射绝缘体（电介质）材料时，正电荷会在靶材表面积聚，从而有效地停止该过程。
射频（RF）溅射通过使用交变交流电源（通常为 13.56 MHz）来解决这个问题。电场的快速切换允许靶材在每个周期内自中和，从而能够持续溅射出氧化物和陶瓷等绝缘体和电介质材料。
增强沉积：磁控管的作用
基础的直流和射频方法是有效的，但相对较慢。磁控溅射不是一种单独的类型，而是对两者效率的显著提高。
磁控溅射的工作原理
在磁控溅射中，在溅射靶材后方配置一个强大的磁场。该磁场将等离子体中的自由电子捕获，将它们限制在靶材表面正前方的区域。
关键优势：电离增加
这些被捕获的、螺旋运动的电子具有更长的路径长度，大大增加了它们与中性氩原子碰撞并使其电离的概率。
此过程会在靶材附近产生更密集、更强的等离子体，而无需增加气体压力。
结果：更快、更致密的薄膜
更致密的等离子体意味着有更多的离子可以轰击靶材。这导致沉积速率显著提高，并通常使沉积在基板上的薄膜质量更高、密度更大。如今，大多数现代系统都是基于磁控管的，被称为直流磁控溅射或射频磁控溅射。
控制薄膜化学：反应性溅射
该技术侧重于创建复合薄膜，而不仅仅是沉积纯材料。它可以与直流或射频磁控溅射结合使用。
在反应性气氛中溅射
在反应性溅射中，除了惰性氩气外，还故意向真空室中引入少量反应性气体，例如氧气或氮气。
创建复合薄膜
当原子从金属靶材（例如钛）中溅射出来时，它们会向基板移动并与该气体发生反应。这使得您可以直接在基板上形成新的复合薄膜，例如氮化钛 (TiN) 或二氧化钛 (TiO2)。
理解权衡
选择溅射技术需要在性能、成本和材料兼容性之间取得平衡。没有单一的“最佳”方法。
速度与材料兼容性
最基本的权衡是在直流和射频溅射之间。直流更快、更简单，但严格限制于导电材料。射频更通用，能够沉积任何材料，但通常较慢，并且需要更复杂、更昂贵的电源。
成本与复杂性与薄膜质量
对于大多数应用来说，基本的磁控溅射在速度和质量之间提供了极好的平衡。然而，像高功率脉冲磁控溅射 (HiPIMS) 或离子束溅射 (IBS) 这样的先进方法，虽然设备复杂性和成本更高，但能提供卓越的薄膜密度、附着力和纯度。
工艺控制
反应性溅射在创建硬质或光学涂层方面非常强大，但它引入了一个主要的工艺控制挑战。平衡反应速率以避免靶材中毒，同时确保完全反应的薄膜，需要高度精确的气体流量和功率管理。
选择正确的溅射方法
您的选择应直接由您对薄膜的最终目标来指导。
- 如果您的主要重点是快速、经济高效地沉积导电金属： 您的起点是直流磁控溅射。
- 如果您的主要重点是沉积氧化物或陶瓷等绝缘体或电介质材料： 您需要射频磁控溅射。
- 如果您的主要重点是创建特定的复合薄膜，如氮化物或碳化物： 您将需要使用反应性溅射，通常使用直流供电的金属靶材。
- 如果您的主要重点是在关键应用中实现尽可能高的薄膜密度和附着力： 您应该研究 HiPIMS 或离子束溅射等先进方法。
了解这些核心方法及其预期应用是实现您特定薄膜沉积目标的第一步。
摘要表：
| 溅射类型 | 主要用途 | 关键优势 |
|---|---|---|
| 直流溅射 | 导电金属 | 简单、经济高效 |
| 射频溅射 | 绝缘体/电介质材料 | 非导体材料的多功能性 |
| 磁控溅射 | 增强的直流/射频效率 | 更高的沉积速率和更致密的薄膜 |
| 反应性溅射 | 复合薄膜（例如，氮化物、氧化物） | 创建特定的化学涂层 |
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