真空泵是各种工业和科学应用中必不可少的工具。它们通过将气体分子从密封容积中抽出来帮助形成真空。常用的真空泵主要有四种:旋片泵、罗茨泵、油扩散泵和涡轮分子泵。每种类型都可达到特定的真空压力,并根据应用过程的要求进行选择。
4 种真空泵类型说明
1.旋片泵
旋片泵使用的机制是,安装在转子上的多个叶片随着转子的转动在泵壳的槽中滑动。叶片捕获并压缩空气,然后通过排气阀排出。这些泵能有效地达到粗真空度,通常可达 5x10-2 毫巴。它们广泛应用于需要中等真空度的场合,并以可靠性和耐用性著称。
2.罗茨泵(或旋转鼓风机泵)
罗茨泵的工作原理是正排量原理,两个转子紧密配合,以相反的方向旋转,捕集和排出气体。这些泵通常与旋片泵结合使用,以提高抽气速度并达到更高的真空度。它们在需要快速抽排大量气体的应用中尤为有用。
3.油扩散泵
油扩散泵设计用于实现高真空度。其工作原理是将高速喷射的油蒸汽对准进入的气体分子,然后将其向下引导并收集到泵的底部。气体随后被一个前级泵抽出。油扩散泵能够达到低至 10-5 毫巴的真空度,常用于科学研究和高真空工业过程。
4.涡轮分子泵
涡轮分子泵利用高速旋转的叶片向气体分子传递动量,有效地将气体分子从泵的进气口转移到排气口。这些泵能够达到非常高的真空度,通常低至 10-9 毫巴。它们主要用于需要超高真空的应用场合,如半导体制造和质谱仪等分析仪器。
每种类型的真空泵都在特定的真空度范围内工作,并根据应用的具体需求进行选择,包括所需的真空度、抽气速度和所处理气体的性质。
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