常用的四种真空泵包括旋片泵、罗茨泵、油扩散泵和涡轮分子泵。每种类型都可达到特定的真空压力,并根据应用过程的要求进行选择。
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旋片泵:这些泵使用一种机制,当转子转动时,安装在转子上的许多叶片在泵壳的槽中滑动。叶片捕获并压缩空气,然后通过排气阀排出。旋片泵可以有效地达到粗真空度,通常可达 5x10-2 毫巴。它们广泛应用于需要中等真空度的场合,并以可靠性和耐用性著称。
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罗茨泵(或旋转鼓风机泵):这些泵的工作原理是正排量,两个转子以相反的方向旋转,从而捕获和排出气体。罗茨泵通常与旋片泵配合使用,以提高抽气速度并达到更高的真空度。它们在需要快速抽排大量气体的应用中特别有用。
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油扩散泵:这些泵设计用于实现高真空度。其工作原理是将高速喷射的油蒸汽对准进入的气体分子,然后将其向下引导并收集到泵的底部。气体随后被一个前级泵抽出。油扩散泵能够达到低至 10-5 毫巴的真空度,常用于科学研究和高真空工业过程。
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涡轮分子泵:这种泵利用高速旋转的叶片向气体分子传递动量,有效地将气体分子从泵的进气口转移到排气口。涡轮分子泵能够达到非常高的真空度,通常可低至 10-9 毫巴。它们用于需要超高真空的应用,如半导体制造和质谱仪等分析仪器。
每种类型的真空泵都在特定的真空度范围内工作,并根据应用的具体需求进行选择,包括所需的真空度、抽气速度和所处理气体的性质。
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