碳化硅（SiC）具有高硬度、低密度、高导热性和优异的耐化学性等独特性能，是一种用途广泛的通用材料。碳化硅的应用遍及各行各业，包括半导体制造、高温加热元件、耐磨部件以及国防和航空航天领域。
半导体制造：
碳化硅广泛应用于半导体制造工艺。它是晶片支持系统中的关键部件，如感应器、滑环、提升销、电极和聚焦环。这些元件在各种半导体制造工艺中都至关重要，包括快速热处理 (RTP)、等离子刻蚀、化学气相沉积 (CVD)、外延、离子注入、光刻和各种清洗方法。在这些应用中使用碳化硅是因为它具有高导热性，并能抵抗半导体加工过程中遇到的恶劣化学环境。高温应用：
由于具有高导热性和在极端温度下的稳定性，SiC 是高温应用的理想材料。它可用于工业炉的加热元件，可承受高达 1600°C 的温度而不会发生降解。此外，SiC 棒和陶瓷还用于陶瓷、玻璃和冶金等行业的高温炉和窑中。这种材料能够在高温下保持结构完整性和电气性能，因此在这些应用中不可或缺。
耐磨和耐腐蚀：
碳化硅具有极高的硬度和耐磨性，因此适用于需要在恶劣环境中经久耐用的部件。在密封件、轴承和球阀部件中，碳化硅的机械磨损问题十分突出。在化学工业中，由于 SiC 具有出色的化学惰性，因此可用于泵和喷嘴等暴露于腐蚀性介质的部件。例如，发电厂和大型锅炉中的脱硫喷嘴就是由 SiC 制成的，因为它具有耐高腐蚀性气体和液体的特性。国防和军事应用：
在国防领域，SiC 陶瓷因其高硬度和轻质特性被用作防弹装甲。与其他材料相比，SiC 在减轻重量和防弹性能之间取得了平衡，因此成为个人和车辆装甲系统的首选。
