真空系统的检漏对于保持这些系统的完整性和效率至关重要。
有几种用于检测和处理泄漏的方法，每种方法都是针对系统的特定需求和组件量身定制的。
真空系统检漏的 6 项关键技术
1.注入检测法
这种传统方法包括抽空真空炉并在炉外注入氦气，通常与氦质谱仪相连。
该系统可监测任何可能进入真空系统的氦气，以显示泄漏。
氦气是一种小分子，很容易穿透最小的泄漏点，因此是检测真空系统泄漏的可靠示踪气体。
2.喷嘴检测法
这种方法适用于无法抽真空的物体，如热交换器、水冷法兰和电气馈入件。
在要检测的物体中充入泄漏指示气体，通常是氦气。
然后使用传感器或氦质谱仪检查是否有气体从外部逸出，以显示泄漏。
这种方法对于不属于主真空室但对整个真空完整性至关重要的部件特别有用。
3.惰性气体泄漏检测
对于使用惰性气体的系统，确保从气体供应系统到真空炉的零泄漏至关重要。
检测惰性气体泄漏的两种常用方法是薄膜（肥皂泡）法和真空检漏法。
薄膜法是在可疑泄漏区域涂上肥皂溶液，观察是否有气泡产生。
真空法使用真空计监测压力变化，以显示泄漏。
4.维护和预防措施
定期维护和预防措施对于最大限度地减少泄漏至关重要。
这包括使用氦气检漏仪或残余气体分析仪查找微小泄漏。
更换临时密封化合物以及定期检查和更换密封件、阀门和泵等部件也很重要。
适当的维护不仅能防止意外的设备停机，还能优化真空炉的性能和使用寿命，降低长期运行的总成本。
5.监控和测试
定期监测真空系统至关重要。
这包括测量压力上升率，通过观察系统关闭和不运行时的压力上升率来帮助检测泄漏。
此外，使用氦质谱仪检漏仪或在可疑泄漏点喷洒丙酮或乙醚等替代方法也有助于识别泄漏。
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