用于真空系统检漏的方法主要包括注入法和吸嘴法，以及用于惰性气体泄漏和一般维护的其他技术。
注入检测法：
这种传统方法是将炉子抽空，在炉外注入氦气，通常与氦质谱仪相连。该系统可监测任何可能进入真空系统的氦气，以显示泄漏。这种方法非常有效，因为氦气是一种小分子，很容易穿透最小的泄漏点，是检测真空系统泄漏的可靠示踪气体。喷嘴检测法：
这种方法适用于无法抽真空的物体，如热交换器、水冷法兰和电气馈入件。在要检测的物体中充入泄漏指示气体，通常是氦气。然后使用传感器或氦质谱仪检查是否有气体从外部逸出，以显示泄漏。这种方法对于不属于主真空室但对整个真空完整性至关重要的部件特别有用。
惰性气体泄漏检测：
对于使用惰性气体的系统，确保从气体供应系统到真空炉的零泄漏至关重要。检测惰性气体泄漏的两种常用方法是薄膜（肥皂泡）法和真空检漏。薄膜法是在可疑泄漏区域涂上肥皂溶液并观察是否有气泡，而真空法是使用真空计监测压力变化，以显示泄漏。维护和预防措施：
定期维护和预防措施对于最大限度地减少泄漏至关重要。这包括使用氦气检漏仪或残余气体分析仪查找微小泄漏点，更换临时密封化合物，以及定期检查和更换密封件、阀门和泵等部件。适当的维护不仅能防止意外的设备停机，还能优化真空炉的性能和使用寿命，降低长期运行的总成本。
