知识 什么是 SEM 的金溅射?需要了解的 4 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是 SEM 的金溅射?需要了解的 4 个要点

用于扫描电子显微镜的金溅射是一种在不导电或导电性差的试样上沉积一薄层金的工艺。

该工艺可增强试样的导电性,并防止在扫描电子显微镜(SEM)检查过程中出现充电现象。

它通过增加二次电子的发射来提高信噪比,这对高分辨率成像至关重要。

需要了解的 4 个要点

什么是 SEM 的金溅射?需要了解的 4 个要点

1.制备试样

非导电或导电性差的材料需要先进行导电涂层处理,然后才能在扫描电镜中进行有效检查。

金溅射是应用这种涂层的方法之一。

金层可充当导体,使扫描电子显微镜的电子束与试样相互作用,而不会产生充电效应。

2.溅射过程

该过程涉及使用一种称为溅射镀膜机的设备。

该设备用离子轰击金靶,使金原子喷射出来并沉积到试样上。

这是在受控条件下进行的,以确保金层均匀一致。

金层的厚度至关重要;太薄的金层可能无法提供足够的导电性,而太厚的金层则会模糊试样的细节。

3.SEM 的优点

防止充电: 通过提供导电路径,金溅射可防止试样上静电荷的积累,因为静电荷会扭曲扫描电镜图像并干扰电子束。

增强二次电子发射: 金是二次电子的良好发射体,而二次电子对扫描电镜成像至关重要。金涂层可增加试样发射的二次电子数量,从而改善信噪比并提高图像分辨率。

再现性和均匀性: 先进的溅射设备(如 kintek 金溅射系统)可确保金层的高度可重复性和均匀性,这对于在多个试样或实验中获得一致、可靠的结果至关重要。

4.应用和局限性

金溅射特别适用于需要高倍放大(高达 100,000 倍)和详细成像的应用。

但是,它不太适合涉及 X 射线光谱的应用,在这些应用中,碳涂层因其对 X 射线信号的干扰较小而更受欢迎。

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