在电子束蒸发过程中,盛放金属源材料的容器称为坩埚。
解释:
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坩埚的定义和功能:
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电子束蒸发中的坩埚是用来盛放待蒸发源材料的容器。坩埚放置在高真空室中,是聚焦电子束的目标。坩埚的主要功能是在电子束将材料加热到蒸发点时牢牢固定住材料。坩埚的材料和结构:
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电子束蒸发中使用的坩埚通常由高熔点材料制成,以承受电子束产生的高热量。常用的坩埚材料包括铜、钨和陶瓷,尤其是氮化硼。材料的选择取决于源材料的类型和蒸发过程的温度要求。例如,高温材料可能首选陶瓷坩埚,以防止坩埚与源材料之间发生任何化学作用。
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冷却系统:
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为防止坩埚本身达到高温,从而导致损坏或不必要的反应,坩埚通常配备有水冷却系统。这种冷却机制可确保只有源材料被电子束加热,而坩埚则保持在安全的工作温度下。配置和多材料处理:
先进的电子束蒸发系统可包含多个坩埚,可在不破坏真空的情况下按顺序沉积不同的材料。这种配置尤其适用于需要多层涂层的应用。坩埚可以旋转或定位,使电子束可以依次瞄准并蒸发每种源材料,从而促进复杂的涂层工艺。