电子束蒸发是一种多功能的精密沉积技术，主要用于在各种材料上形成高纯度的致密涂层。
在要求材料具有耐高温性、耐磨性、耐化学性或特定光学特性的行业中，它尤其有效。
该工艺能够蒸发高熔点的材料，在原子和分子水平上沉积纯净而精确的金属涂层，因而备受青睐。
5 种主要应用说明
1.耐高温
电子束蒸发可用于沉积铂和二氧化硅等蒸发温度较高的材料。
这种能力在航空航天和汽车等行业至关重要，因为这些行业的部件必须经受极端条件的考验。
2.耐磨性和耐化学性
该工艺是制造涂层的理想选择，可增强材料的耐磨性和耐化学性。
这对制造业和建筑业非常有利。
3.光学特性
电子束蒸发可用于生产光学涂层，增强电子产品和消费品所用材料的透射、反射或吸收特性。
4.工艺机制
在电子束蒸发过程中，由于焦耳加热，电子从钨丝中发射出来。
这些电子在高压作用下被加速，射向装有待沉积材料的坩埚。
磁场聚焦电子束，然后将能量传递给材料，使其蒸发并沉积到基底上。
5.反应沉积
通过将氧气或氮气等反应性气体分压引入腔室，可以反应沉积非金属薄膜。
这扩大了可实现的材料和性能范围。
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