电子束蒸发是一种利用高压电子束在真空环境中加热和蒸发材料的工艺。电压通常在 3 到 40 千伏之间，常见的设置电压在 10 千伏到 25 千伏之间。这种高电压是将电子束加速到高动能所必需的，然后用来加热和蒸发源材料。
4 个要点说明
1.电压范围和目的
电子束蒸发中使用的电压至关重要，因为它决定了电子的动能。这种能量与施加的电压成正比。例如，在 20-25 千伏的加速电压和几安培的束流条件下，大约 85% 的电子动能可以转化为热能，这对于将材料加热到蒸发点至关重要。
2.对材料加热的影响
高压可将电子加速到一定速度，使其在撞击源材料时产生大量能量。这种能量传递会加热材料，温度通常超过 3000 °C，导致材料熔化或升华。电子轰击点的局部加热可确保将坩埚污染降至最低。
3.能量转换和损耗
电子撞击蒸发材料后会迅速失去能量，将动能转化为热能。不过，也会通过产生 X 射线和二次电子发射损失一些能量。这些损耗只占总能量的一小部分，但对整个过程的效率和安全性具有重要意义。
4.操作灵活性
电压可根据沉积工艺的具体要求进行调整，如被蒸发材料的类型和所需的沉积速率。这种灵活性使电子束蒸发可用于包括高熔点材料在内的多种材料，从而使其成为薄膜沉积的一种多功能技术。
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