电子束蒸发的电压通常在 3 到 40 千伏之间，常见的设置电压在 10 千伏到 25 千伏之间。这种高电压是将电子束加速到高动能所必需的，然后利用电子束在真空环境中加热和蒸发源材料。
详细说明：
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电压范围和用途:电子束蒸发中使用的电压至关重要，因为它决定了电子的动能。这种能量与施加的电压成正比。例如，在 20-25 千伏的加速电压和几安培的束流条件下，大约 85% 的电子动能可以转化为热能，这对于将材料加热到蒸发点至关重要。
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对材料加热的影响:高压可将电子加速到一定速度，使其在撞击源材料时产生大量能量。这种能量传递会加热材料，温度通常超过 3000 °C，导致材料熔化或升华。电子轰击点的局部加热可确保坩埚污染最小化。
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能量转换和损耗:电子撞击蒸发材料后会迅速失去能量，将动能转化为热能。不过，通过产生 X 射线和二次电子发射，也会损失一些能量。这些损耗只占总能量的一小部分，但对整个工艺的效率和安全性具有重要意义。
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操作灵活性:电压可根据沉积工艺的具体要求进行调整，如被蒸发材料的类型和所需的沉积速率。这种灵活性使电子束蒸发可用于包括高熔点材料在内的多种材料，从而使其成为薄膜沉积的一种多功能技术。
总之，电子束蒸发的电压是一个关键参数，直接影响电子束的能量、源材料的加热和沉积过程的效率。常用的电压范围为 10 千伏至 25 千伏，可提供足够的能量在受控真空环境中蒸发各种材料。
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