单级真空泵只有一个泵腔，而双级真空泵则有两个串联的泵腔。两者的主要区别在于压缩比和可达到的真空度。
在单级真空泵中，泵腔直接向大气排气。它可以达到粗真空或低真空度，通常可达到约 1 毫巴的压力。这种类型的泵通常用于不需要高真空度的应用，如一般的工业流程。
另一方面，双级真空泵使用两组转子和叶片。第一级（称为低真空级）吸入工艺气体并将其输送到第二级（称为高真空级）。高真空级将气体压缩至大气压，从而获得更好的真空度。两级真空泵可以达到更高的真空度，通常在 10^-3 到 10^-4 毫巴之间。
在需要较高真空度的工业应用中，如生产超高真空（UHV）时，双级真空泵是首选。超高真空的特点是压力低于约 100 纳帕斯卡（10^-7 帕斯卡，10^-9 毫巴，~10^-9 托）。半导体制造、研究实验室和真空镀膜等行业通常需要这些真空度。
总之，单级真空泵和双级真空泵的区别在于泵腔的数量及其所能达到的真空度。单级泵只有一个泵腔，可以达到粗真空，而双级泵有两个泵腔，可以达到更高的真空度，尤其是在超高真空范围内。
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