说到真空泵，主要有两种类型：单级真空泵和双级真空泵。
需要了解的 5 个要点
1.泵腔数量
单级真空泵有一个泵腔。
双级真空泵有两个串联的泵腔。
2.压缩比和真空度
两者的主要区别在于压缩比和可达到的真空度。
3.单级真空泵
在单级真空泵中，泵腔直接向大气排气。
它可以达到粗真空或低真空度，通常可达到约 1 毫巴的压力。
这种类型的泵通常用于不需要高真空度的应用，如一般工业流程。
4.双级真空泵
双级真空泵使用两组转子和叶片。
第一级（称为低真空级）吸入工艺气体并将其输送到第二级（称为高真空级）。
高真空级将气体压缩至大气压，从而获得更好的真空度。
双级真空泵可以达到更高的真空度，通常在 10^-3 至 10^-4 毫巴之间。
5.应用和首选用途
在需要较高真空度的工业应用中，如生产超高真空（UHV）时，双级真空泵是首选。
超高真空的特点是压力低于约 100 纳帕斯卡（10^-7 帕斯卡，10^-9 毫巴，~10^-9 托）。
半导体制造、研究实验室和真空镀膜等行业通常需要这些真空度。
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