XRF （X 射线荧光）厚度测量是一种利用 X 射线与材料的相互作用来确定材料厚度的技术。
当 X 射线照射到材料上时，会导致材料中的原子发出二次 X 射线，也称为荧光。
这种荧光的强度与材料的厚度直接相关。
通过分析发射的 X 射线的强度，可以准确地确定材料的厚度。
XRF 厚度测量的原理是什么？4 个要点说明
1.X 射线与材料的相互作用
当 X 射线照射到材料上时，会与材料中的原子发生相互作用。
这种相互作用会导致原子受激，并以材料中元素特有的特定波长发射 X 射线。
这一过程被称为 X 射线荧光。
2.荧光强度的测量
发射的 X 射线的强度使用 XRF 光谱仪进行测量。
光谱仪检测发射 X 射线的特征波长并量化其强度。
这些发射的 X 射线的强度与材料中的元素含量成正比，而元素含量又与材料的厚度有关。
3.与厚度相关
XRF 厚度测量的原理是，随着材料厚度的增加，荧光强度也会降低。
这是因为 X 射线必须穿透更多的材料，从而削弱了其强度。
通过用已知厚度校准 XRF 光谱仪，该仪器可用于精确测量未知样品的厚度。
4.优势和局限性
XRF 厚度测量具有无损、快速的特点，可用于多种材料。
不过，它需要用已知厚度和成分的标准进行校准。
精确度会受到材料成分和表面粗糙度的影响。
此外，XRF 在测量薄层（通常只有几微米厚）时更为有效。
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