知识 什么是金溅射工艺?5 个关键步骤详解
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是金溅射工艺?5 个关键步骤详解

金溅射是一种用于在电路板、金属首饰或医疗植入物等各种表面沉积一层薄金的技术。

该工艺是物理气相沉积(PVD)的一部分,包括在真空室的高能条件下,从目标材料(通常是固体金或金合金圆盘)中喷射金原子。

5 个关键步骤说明

什么是金溅射工艺?5 个关键步骤详解

1.激发金原子

这一过程首先要激发目标材料中的金原子。

这是通过高能离子轰击目标来实现的。

2.喷射金原子

结果,金原子以细小蒸汽的形式从靶材中喷射或 "溅射 "出来。

3.凝结到基底上

然后,这种蒸气会凝结在基底上,形成一层薄而均匀的金层。

4.金溅射方法

金溅射有多种方法,最常见的是直流溅射、热蒸发沉积和电子束气相沉积。

直流溅射使用直流(DC)电源来激发目标材料,是最简单、成本最低的方法之一。

热蒸发沉积是在低压环境中使用电阻加热元件加热金。

电子束气相沉积法使用电子束在高真空环境中加热金。

5.专用设备和受控条件

金溅射工艺需要专门的溅射设备和受控条件,以确保获得最佳效果。

沉积的金层非常精细,可以通过控制来创建定制图案,以满足特定需求。

此外,溅射蚀刻还可以通过从靶材中释放蚀刻材料来去除部分涂层。

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