XRF 光谱法可用于元素分析，因为它能以非破坏性方式确定材料的元素组成。该技术的工作原理是用 X 射线轰击样品并测量由此产生的荧光辐射，从而为每种元素生成独特的光谱。这样就能确定样品中存在的元素。
与光学发射光谱法（OES）和激光诱导击穿光谱法（LIBS）等替代技术相比，XRF 光谱法具有多项优势。这些替代技术的分析能力有限，而且会在工件上留下明显的痕迹，而 XRF 光谱法则能在整个过程中保持样品的完整性。
为了获得最佳结果，XRF 光谱法需要使用各种实验室设备，包括铂金实验室器皿、高性能熔炉和化学专用模具。这些工具有助于对样品进行准确的定量和定性分析。
除 XRF 光谱法外，其他元素分析技术还包括溶液固相法、壳膜技术和压球技术。这些方法分别涉及将固体样品溶解在非水溶剂中、将样品沉积在 KBr 或氯化钠池上，以及将磨细的固体样品压制成透明颗粒。不过，XRF 光谱仍然是最有效的元素分析工具之一，因为它可以非破坏性地识别和量化散装材料中的元素，并提供快速、准确的结果。
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