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电子束蒸发涂层钨坩埚/钼坩埚

薄膜沉积部件

电子束蒸发涂层钨坩埚/钼坩埚

货号 : KMS04

价格根据 规格和定制情况变动


材料
钼/钨
规格
30-50 毫米*15-25 毫米
ISO & CE icon

运输:

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应用

电子束蒸发(EBE)是一种用于薄膜沉积的物理气相沉积(PVD)技术。在电子束蒸发过程中,一束高能电子被用来加热和汽化固体材料,然后使其凝结在基底上形成薄膜。由于钨和钼坩埚具有优异的热性能和机械性能,因此常用于电子束蒸发工艺中。钨/钼坩埚常用于微电子生产中的薄膜沉积,如集成电路 (IC) 和微处理器;光学镀膜工艺,用于在透镜、反射镜或其他光学元件上沉积薄膜;抗反射涂层或导电层的薄膜沉积;耐磨涂层:钨坩埚可用于在切削工具或发动机部件等各种部件上沉积耐磨涂层。

细节与零件

电子束蒸发涂层钨坩埚/钼坩埚详情

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技术规格

外径和高度 30*15 毫米 34*20 毫米 35*17mm 40*17 毫米 42*19 毫米 45*22 毫米 50 毫米*22 毫米

我们展示的坩埚有不同尺寸,也可根据要求定制尺寸。

优点

  • 熔点极高;适合加工高熔点材料。高导热性,可在蒸发过程中有效传热。
  • 高纯度;使用钨坩埚有助于确保沉积薄膜的纯度。
  • 机械强度高;钨以其出色的机械强度和高温抗变形能力而著称。
  • 蒸气压低;钨的蒸气压低,有助于最大限度地减少污染,并在蒸发过程中保持清洁的真空环境。

FAQ

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

蒸发坩埚常用的材料有哪些?

蒸发坩埚通常由钨、钽、钼、石墨或陶瓷化合物等材料制成。这些材料熔点高、导热性好,适合蒸发过程中所需的高温条件。坩埚材料的选择取决于蒸发剂材料、所需薄膜特性和工艺参数等因素。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

使用蒸发坩埚有哪些优势?

蒸发坩埚在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们可为材料蒸发提供受控环境,从而实现对薄膜厚度和均匀性的精确控制。坩埚可承受高温并提供高效热传导,确保稳定的蒸发率。坩埚有各种尺寸和形状,以适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发坩埚还可沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。蒸发坩埚易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发坩埚是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。

应如何处理和维护蒸发坩埚?

应小心处理和维护蒸发坩埚,以确保其使用寿命和性能。每次使用前都应彻底清洁坩埚,清除之前沉积的残留物质。避免使用可能损坏坩埚表面的研磨材料。在装载和卸载过程中,应使用干净的手套或专用工具处理坩埚,以防止污染。不使用时,将坩埚存放在干燥清洁的环境中,以避免腐蚀或降解。必须定期检查坩埚是否有裂缝、缺陷或磨损迹象,以防止在蒸发过程中出现意外故障。按照制造商的建议进行退火或表面处理等特定维护程序,以延长坩埚的使用寿命。
查看更多该产品的问题与解答

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