分析设备配件与耗材

熔融石英变径管高纯石英异径适配器适用于实验室管式炉与半导体加工

货号 : KT-SYG

价格根据规格和定制情况变动

材料成分: 高纯度熔融石英 (SiO2 ≥ 99.99%)
工作温度: 连续 1100°C / 短期峰值 1250°C
抗热震性: 从 1100°C 水淬至 20°C 不破裂

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产品概述

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高纯熔融石英变径管用作精密过渡接头，旨在连接高温炉、真空网络和工艺管道中不同管径的管道。该部件由二氧化硅含量超过 99.99% 的精制熔融二氧化硅制成，具有出色的热弹性、光学清晰度和化学惰性，确保可靠的容积流量过渡，且无死角或结构失效。

该适配器广泛应用于半导体制造、化学气相沉积、光伏研究和分析热化学实验室，可将主炉腔与气体输送歧管、排气洗涤器和真空配件连接起来。它消除了苛刻热系统中的几何接口不匹配问题，在这些系统中，弹性体或金属接头由于热降解或污染风险而不适用。

该组件专为 1100°C 连续运行和高达 1250°C 的瞬时峰值而设计，具有极低的熱膨胀系数，在激进的炉内循环过程中可完全免受急剧热冲击。均匀的壁厚、精确的同心度和完全的炉内退火保证了其在严苛的真空和正压条件下的长期机械强度。

主要特点

超高材料纯度：完全采用优质熔融二氧化硅制造，SiO2 纯度超过 99.99%，总金属痕量杂质低于 20 ppm，确保在超净半导体、太阳能电池和薄膜沉积工艺中基板零污染风险。
卓越的抗热震性：在室温至 1000°C 范围内具有 5.5 × 10⁻⁷ /°C 的超低热膨胀系数，可直接承受剧烈热梯度以及从 1100°C 瞬间水淬，而不会产生微裂纹、龟裂或灾难性热断裂。
精密车床成型几何形状：使用计算机同步石英加工玻璃车床制造，在主孔和次孔段保持紧密的同心度、平滑的锥度过渡和均匀的壁厚，防止局部热应力和湍流气体再循环。
广谱化学惰性：对沸腾温度下的浓硝酸、浓硫酸、浓盐酸等腐蚀性酸以及干卤素和挥发性前体蒸气表现出近乎完全的免疫力，保护苛刻化学环境中的工艺化学完整性。
高温结构刚性：在 1100°C 连续运行条件和高达 1250°C 的间歇峰值偏差下保持卓越的机械稳定性，在深负压状态下可抵抗下垂、软化或真空内爆。
光学透明度与工艺可见性：在 260 nm 至 2500 nm 的紫外、可见光和近红外光谱范围内提供高光谱传输，允许在热处理过程中对等离子体放电、前体流动和蒸气冷凝区进行清晰的目视监测。
可定制的端部终端和接头接口：采用多功能连接配置设计，包括精密火焰抛光平端、标准磨砂锥形接头、球窝偶联接头或带珠快装法兰轮廓，可无缝集成到各种设备布局中。
可控炉内退火：经过多阶段程序循环退火，以消除机械拉伸和热锥化过程中引入的残余内部应力，并通过光学偏光镜测试进行验证，以确保服务期间的可靠物理耐用性。

应用

应用	描述	主要优势
半导体扩散与氧化	将大口径工艺管连接到高温扩散炉内较小的反应性气体输送喷油器或前级真空法兰。	防止金属污染，保持超净大气密封，并在不失透的情况下承受连续 1100°C 的工艺循环。
化学气相沉积（CVD / PECVD）	作为初级气流减速器，将水平或垂直管系统中的反应物输送导管桥接到主真空沉积室。	通过平滑的锥面几何形状消除湍流再循环区，确保层流前驱体流动和均匀的薄膜生长。
高真空排气和前级过渡	在高真空装置中将过大的工艺腔室与标准真空泵浦管线、冷阱和诊断压力传感器连接起来。	在超高真空条件下提供可忽略不计的出气率，同时维持深真空压差而不会发生结构屈曲。
腐蚀性气体洗涤和排气管	将含有氯、氟化合物或酸性副产物的腐蚀性废气流连接到冷凝捕集器和中和塔。	在升高的排气温度下对酸雾和卤素呈惰性，防止联轴器过早腐蚀和灾难性排气泄漏。
实验室管式炉炉膛缩径	促进大型炉加热管与标准化实验室玻璃器皿或分析探针插入端口之间的尺寸转换。	允许研究人员将传统的炉管直径适配到模块化设备中，而无需定制加工昂贵的炉端盖。
光伏硅片加工	用作太阳能电池发射极扩散反应器中三氯氧磷或三溴化硼掺杂剂蒸气输送的过渡管道。	抵抗侵蚀性掺杂载体蒸气腐蚀，同时保持对高载流子寿命效率至关重要的极高化学纯度。
热化学与热分析	将高温燃烧舟皿或反应管直接耦合到质谱仪、光学气体分析仪和冷凝盘管。	提供惰性流动路径，防止敏感分析评估期间的样品吸附、催化副反应或信号失真。
光纤预制棒沉积（MCVD）	在光纤纤芯改良化学气相沉积过程中，将旋转的石英起始管连接到化学进料歧管和排气鼓风机。	确保沿预制棒轴线移动的强烈氢氧焰下的高旋转同心度和机械强度。

技术规格

标准尺寸变体

产品型号	大端外径 (OD1)	小端外径 (OD2)	壁厚 (W)	锥度长度 (L1)	总长 (L)	过渡几何形状
KT-SYG-2515	25 mm (±0.3 mm)	15 mm (±0.3 mm)	2.0 mm (±0.2 mm)	30 mm	150 mm	同心
KT-SYG-3825	38 mm (±0.5 mm)	25 mm (±0.3 mm)	2.5 mm (±0.3 mm)	40 mm	180 mm	同心
KT-SYG-5025	50 mm (±0.5 mm)	25 mm (±0.3 mm)	3.0 mm (±0.3 mm)	50 mm	200 mm	同心
KT-SYG-6040	60 mm (±0.5 mm)	40 mm (±0.5 mm)	3.0 mm (±0.3 mm)	50 mm	220 mm	同心
KT-SYG-8050	80 mm (±0.8 mm)	50 mm (±0.5 mm)	3.5 mm (±0.3 mm)	60 mm	250 mm	同心
KT-SYG-10060	100 mm (±0.8 mm)	60 mm (±0.5 mm)	4.0 mm (±0.4 mm)	80 mm	300 mm	同心
KT-SYG-12080	120 mm (±1.0 mm)	80 mm (±0.8 mm)	4.5 mm (±0.4 mm)	90 mm	320 mm	同心
KT-SYG-150100	150 mm (±1.2 mm)	100 mm (±0.8 mm)	5.0 mm (±0.5 mm)	100 mm	350 mm	同心
KT-SYG-5025E	50 mm (±0.5 mm)	25 mm (±0.3 mm)	3.0 mm (±0.3 mm)	55 mm	200 mm	偏心平底
KT-SYG-8050E	80 mm (±0.8 mm)	50 mm (±0.5 mm)	3.5 mm (±0.3 mm)	65 mm	250 mm	偏心平底
KT-SYG-10060E	100 mm (±0.8 mm)	60 mm (±0.5 mm)	4.0 mm (±0.4 mm)	85 mm	300 mm	偏心平底
KT-SYG-CUSTOM	10 mm – 450 mm	5 mm – 350 mm	1.5 mm – 10.0 mm	定制定义	50 mm – 1200 mm	同心 / 偏心

材料物理与热学性能

参数	测试标准 / 单位	数值 / 特性
化学成分	光谱学	高纯熔融石英 (SiO2 ≥ 99.99%)
材料密度	阿基米德 / g/cm³	2.20 g/cm³
连续工作温度	服役热极限	1100°C
最高短期工作极限	峰值偏差阈值	1250°C
软化点	ASTM C338	1730°C
退火点	ASTM C336	1180°C
应变点	ASTM C336	1120°C
热膨胀系数 (CTE)	膨胀法 (20°C – 1000°C)	5.5 × 10⁻⁷ /°C
抗热震性	水淬测试	1100°C 至 20°C 无破裂
热导率	20°C / W/(m·K)	1.4 W/(m·K)
抗拉强度	机械测试 / MPa	48 MPa
抗压强度	机械测试 / MPa	1100 MPa
杨氏模量（弹性模量）	声共振 / GPa	72 GPa
泊松比	机械 / 无量纲	0.17
介电常数	25°C 下 1 MHz	3.75
折射率 (nD)	光学钠 D 线 (589.3 nm)	1.4585
光学透射率	260 nm – 2500 nm 光谱法	> 90%

典型化学痕量杂质分布

元素	符号	浓度（按重量计 ppm）
铝	Al	12.0 – 16.0
铁	Fe	0.2 – 0.6
钙	Ca	0.4 – 0.9
镁	Mg	0.1 – 0.4
钠	Na	0.5 – 1.2
钾	K	0.4 – 0.8
锂	Li	0.2 – 0.5
铜	Cu	< 0.05
总金属杂质	总金属含量	< 20.0 ppm

端部终端和配件选项

终端样式	标准可用	典型应用连接
火焰抛光平端	标准平切与火焰上釉	Ultra-Torr 配件、压缩 O 形圈密封、炉端法兰
磨砂玻璃锥形接头	标准锥度 ST 14/23、19/26、24/29、29/32、45/40	直接可互换的玻璃器皿连接，无需聚合物适配器
球窝接头	半球接头 S13、S19、S28、S35、S50	角度调节管线、无应力热膨胀节
带珠快装法兰端	用于 O 形圈夹具的石英带珠端	真空管夹耦合、高纯前级歧管
熔融石英法兰	带有螺栓孔或开槽边缘的抛光平端面	直接用螺栓固定到金属真空组件或反应器视窗