XRF 分析通常被认为具有可靠的准确性和精确性，其结果通常可与火法化验方法相媲美。这种精确度有助于防止因获取刃量不足或假冒材料而造成损失。XRF 分析的准确性受多个因素的影响，包括仪器的灵敏度和稳定性、样品制备技术以及样品本身的特性。
仪器灵敏度和稳定性：
现代 XRF 仪器的灵敏度和稳定性已不再是主要的误差来源。这些仪器配备了最先进的数学算法和先进的电子设备，可在几秒钟内快速提供准确的结果。这使它们成为各种应用的理想选择，包括金属加工设备的质量控制和合金等级的快速鉴定。样品制备技术：
尽管仪器技术不断进步，但样品制备的质量仍会严重影响 XRF 分析的准确性。不正确的样品制备会导致不准确的结果。为 XRF 分析准备样品的过程有时比分析本身更加费力和昂贵。样品制备的主要考虑因素包括：确保样品能代表被测材料，且制备方式不会改变其元素组成。
样品的特征：
XRF 分析对被测样品的特性特别敏感。例如，X 射线在特定波长上的发射峰与样品原子内的电子跃迁相对应。这些发射叠加在外电子散射 X 射线的连续背景上。探测到这些辐射的深度（通常在表面以下 1-1000 微米之间）会因样品中元素的原子量而异。较轻的元素比较重的元素更难被探测到。
非破坏性：
