DLC（类金刚石碳）涂层是一种高耐久性和高硬度的涂层。由于具有高硬度和耐化学性，它经常被用作各种材料的保护涂层。DLC 薄膜采用射频等离子体辅助化学气相沉积（RF PECVD）方法沉积，这种方法可以沉积出具有多种光学和电学特性的碳薄膜。
DLC 涂层的特点是硬度高，硬度范围在 1500 至 3000 HV 之间。它具有与天然金刚石相似的特性，硬度接近天然金刚石。这种高硬度使其适用于汽车和机械行业，如动力传动系统、轴承、凸轮轴和其他元件。
即使在相对较低的温度（约 300 °C）下，DLC 涂层也能通过适当的粘合层以较高的粘合强度沉积下来。这使得它能与不同的基材兼容，如钢和硬金属基材。此外，DLC 涂层的摩擦系数（COF）很低，与轴承钢的摩擦系数低至 0.1，因此适用于需要减少摩擦的应用场合。
等离子体辅助化学气相沉积（PACVD）是一种常用于沉积 DLC 涂层的工艺。该工艺通过等离子激发和电离激活化学反应，利用脉冲光或高频放电在低至约 200 °C 的低温下进行沉积。PACVD 可以生成摩擦系数低、表面硬度可调的 DLC 涂层。
总之，DLC 涂层是一种高度耐用和坚硬的涂层，可用于不同行业的各种应用。它采用射频 PECVD 法或 PACVD 法沉积，可在低温下沉积。DLC 涂层具有高硬度、低摩擦系数以及与不同基底的良好附着力。
