XRF 分析的主要优势之一是，它可以分析从碳和氧等轻元素到铀和钚等重元素的多种元素，灵敏度和准确度都很高。XRF 是一种非破坏性技术，这意味着它不会损坏或破坏被分析的样品。这在分析贵重或不可替代材料时尤为有利。
XRF 分析的另一个优势是它的多功能性。它可用于水泥、采矿和工业矿物等不同行业的原材料和成品的质量控制。它还可用于分析不同形式的材料，如金属合金、汽油中的硫、塑料和电子产品中的重金属。XRF 可以分析光谱仪上的几乎所有材料。
与光学发射光谱法和激光诱导击穿光谱法等替代技术相比，XRF 具有更出色的分析能力。它能提供更准确、更可靠的结果，尤其是在采用适当的样品制备方法时。虽然其他技术可以直接分析工件而无需大量的样品制备，但它们的分析能力往往有限，而且可能会在材料上留下明显的痕迹。
XRF 分析的样品制备相对较快、成本较低、易于掌握。一种常见的方法是制作压制颗粒，这种方法可以产生高质量的结果。在 XRF 分析中，良好的样品制备对于获得准确和可重现的结果至关重要。它能大大提高分析结果的准确性，使操作人员能够在实验室中执行其他有价值的任务。
总之，XRF 分析的优势包括：能够以高灵敏度和高准确度分析各种元素；无损性；在分析不同材料和形态方面的多功能性；以及相对简单和经济高效的样品制备方法。
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