热处理炉中常用的惰性气体是氮气 (N2)、氩气 (Ar) 和氦气 (He)。选择这些气体是因为它们具有不发生反应的特性，这对于防止氧化和其他可能导致加工材料降解的化学反应至关重要。
氮气（N2） 常用于热处理工艺，尤其是铜、黄铜和铝等有色金属。在低于 1800°C 的温度下，氮气被视为惰性气体，可有效置换氧气，降低氧化风险。不过，值得注意的是，在特定条件下，氮气会与氧气发生反应，生成一氧化氮（NO）和二氧化氮（NO2）等气体，统称为氮氧化物气体。尽管如此，当被处理的材料不会与氮气发生反应时，氮气仍是营造惰性气氛的一种经济有效的选择。
氩气（Ar） 和氦气（He） 也经常用于热处理工艺。这些气体比氮气更具惰性，在化学反应风险较高的高温应用中尤其有用。氩气和氦气经常与氮气结合使用，或相互结合使用，以创造更稳定的惰性环境。例如，KT 系列惰性气体烤箱使用氮气和氩气混合气体，能够将氧气含量降低到 20ppm 以下，这对于烧制 LCD 玻璃和惰性金属处理等工艺至关重要。
总之，热处理炉中惰性气体的选择取决于被处理材料的具体要求、温度范围和所需的惰性水平。氮气因其成本效益高且在较低温度下有效而常用，而氩气和氦气的惰性水平较高，适合要求更高的应用。
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