金属溅射是一种用于在基底上沉积金属薄层的工艺。它包括在称为靶材的源材料周围产生高电场,并利用该电场产生等离子体。等离子体从目标材料中去除原子,然后将原子沉积到基底上。
在溅射过程中,气体等离子体放电会在两个电极之间产生:阴极(由目标材料制成)和阳极(基底)。等离子体放电使气体原子电离,形成带正电荷的离子。然后,这些离子被加速冲向目标材料,并以足够的能量撞击目标材料,使原子或分子脱落。
脱落的材料形成蒸汽流,蒸汽流穿过真空室,最终到达基底。当气流撞击基底时,目标材料的原子或分子会粘附在基底上,形成一层薄膜或涂层。
溅射是一种多功能技术,可用于沉积导电或绝缘材料涂层。由于对涂层或基底材料的导电性没有要求,它基本上可用于在任何基底上沉积化学纯度极高的涂层。这使得溅射技术适用于半导体加工、精密光学和表面处理等行业的广泛应用。
在金溅射中,使用溅射工艺在表面沉积一层薄金。与其他形式的溅射一样,金溅射也需要特殊的设备和受控条件才能获得最佳效果。被称为靶材的金圆片是沉积的金属源。
总之,溅射是一种广泛应用于在基底上沉积金属或其他材料薄膜的技术。它能使沉积薄膜具有极佳的均匀性、密度和附着力,因此适用于不同行业的各种应用。
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