热蒸发是在各种基底上形成金属和非金属薄膜的一种方法。
该工艺在高真空环境下进行，因此非常适合需要精确、洁净涂层的应用。
热蒸发的 3 个主要应用
1.工艺概述
加热： 要沉积的材料在高真空室中通过焦耳加热进行加热。
加热通常通过电阻舟或线圈进行。
材料被加热至蒸发点，使其汽化。
汽化： 一旦汽化，材料就会在腔体内形成一团云。
真空环境可最大限度地减少与其他原子的碰撞和反应，从而实现高效汽化。
沉积： 气化后的材料穿过腔室，沉积到位于源上方的基底上。
基底通常朝下朝向加热源，以确保高效镀膜。
2.应用
电气触点： 热蒸发通常用于沉积银或铝等单一金属，用于电触点。
选择这些金属是因为它们具有导电性，能够形成稳定、低电阻的触点。
薄膜设备： 这种技术也用于制造薄膜设备，如有机发光二极管、太阳能电池和薄膜晶体管。
例如，它可用于沉积对这些设备的性能至关重要的金属接触层。
复杂沉积： 更先进的应用涉及多种成分的共沉积。
通过仔细控制装有不同材料的单个坩埚的温度，可实现多种材料的同时沉积。
3.材料多样性
热蒸发可沉积多种材料。
这些材料包括但不限于铝、银、镍、铬、镁和金。
这种多功能性使其适用于广泛的工业和科学应用。
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