沉积过程中的蒸发是将源材料加热至高温的过程。这使它们熔化，然后蒸发或升华为蒸汽。蒸发后的原子凝结在表面上，形成一层薄薄的材料层。这一过程通常在高真空室中进行，以尽量减少气体碰撞和不必要的反应。
沉积过程中如何蒸发源材料？5 个关键步骤说明
1.加热源材料
将源材料加热到一定程度，使其熔化，然后蒸发或升华。这需要使用各种能源，如蒸发舟、蒸发池和坩埚。例如，由钨或钼制成的蒸发舟使用加热元件或电子束蒸发固体材料。
2.蒸发和沉积
一旦形成气态，原子就会移动并沉积到沉积室视线范围内的表面上。沉积是定向的，即材料主要从一个方向沉积。如果基底表面粗糙，则会导致不均匀沉积，这种现象称为 "阴影 "或 "阶梯覆盖"。
3.高真空环境
该工艺在高真空（~10^-6 m.bar）下进行，以防止源材料氧化。它还能确保气化的原子不会与其他气体发生碰撞，从而导致不必要的反应或影响沉积层的均匀性和厚度。
4.控制和精度
沉积薄膜的厚度和成分可通过调节源材料的蒸汽压力和基底温度来精确控制。这种精度对于需要特定性能（如导电性或耐磨性）的应用来说至关重要。
5.挑战和考虑因素
如果蒸发是在真空度较差或接近大气压的条件下进行，沉积可能会不均匀，出现模糊不清的现象。此外，蒸发的原子与外来颗粒碰撞后可能会发生反应，从而影响沉积层的纯度和性能。
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