产品 实验室耗材和材料 薄膜沉积部件 钼钨钽蒸发舟,适用于高温应用
钼钨钽蒸发舟,适用于高温应用

薄膜沉积部件

钼钨钽蒸发舟,适用于高温应用

货号 : KME01

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材料
钨/钼/钽
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引言

蒸发舟用于电阻蒸发工艺中加热和蒸发材料。它们由低蒸气压的材料制成,如钨、钼、钼-镧 (ML)、钼-氧化钇 (MY) 或钽,以确保蒸发物中不含舟体材料的颗粒,从而保证最终层的纯净。蒸发舟具有优异的耐腐蚀性、低蒸气压、良好的导电性、非常高的熔点和尺寸稳定性。

应用

蒸发舟源用于热蒸发系统,用于沉积金属、合金和材料。它们有不同厚度的钨、钽和钼制成,确保与各种电源兼容。这些蒸发舟对于真空蒸发和薄膜沉积至关重要,包括电子束制造。它们广泛应用于真空镀膜、电子、太阳能和冶金等行业。为防止开裂,必须逐渐加热容器。蒸发舟是多功能工具,在材料分析和薄膜沉积过程中起着至关重要的作用。

钼、钨和钽蒸发舟在各个行业都有应用,包括:

  • 材料真空蒸发
  • 炉机中的承载舟
  • 稀土工业
  • 核燃料烧结
  • 电容器放电烧结

细节与零件

钼/钨/钽蒸发舟细节 1

钼/钨/钽蒸发舟细节 2

钼/钨/钽蒸发舟细节 3

长度100 宽度8 厚度0.2/0.3mm 长度100 宽度15 厚度0.2/0.3/0.5mm 长度100 宽度20 厚度0.2/0.3/0.5mm 槽尺寸:长度50 深度2.6

原理

钼/钨/钽蒸发舟用于热蒸发系统,用于沉积各种金属、合金和材料。通过电流通过蒸发舟对其进行加热,从而使材料蒸发。然后蒸发的材料在基板上凝结,形成薄膜。薄膜的厚度可以通过通过蒸发舟的电流大小和蒸发时间来控制。

优点

  • 优异的耐腐蚀性
  • 低蒸气压
  • 良好的导电性
  • 非常高的熔点
  • 尺寸稳定性

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FAQ

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

使用蒸发舟的注意事项。

将待分析物品放入坩埚或沙加中加热;加热温度的升高和降低取决于设备和产品的特性;加热或冷却速度过快都会导致蒸发舟破裂。最好的办法是放慢加热过程,这样可以延长蒸发舟的使用寿命。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。
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钼钨钽蒸发舟,适用于高温应用

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