简介
蒸发舟用于电阻蒸发过程中加热和蒸发材料。蒸发舟由蒸汽压较低的材料制成,如钨、钼、钼-镧(ML)、钼-氧化钇(MY)或钽,以确保舟材料的颗粒不会进入蒸汽和最终层。蒸发舟具有优异的耐腐蚀性、低蒸汽压、良好的导电性、极高的熔点和尺寸稳定性。
应用
蒸发舟源用于热蒸发系统,以沉积金属、合金和材料。它们有不同厚度,由钨、钽和钼制成,确保与各种电源兼容。这些艇对于真空蒸发和薄膜沉积(包括电子束制造)至关重要。它们广泛应用于真空镀膜、电子、太阳能和冶金等行业。为防止开裂,必须逐步加热容器。蒸发舟是一种多功能工具,在材料分析和薄膜沉积过程中发挥着重要作用。
钼、钨和钽蒸发舟可应用于各行各业,包括
- 材料的真空蒸发
- 熔炉设备中的载舟
- 稀土工业
- 核燃料烧结
- 电容器放电烧结
细节和零件
长 100 宽 8 厚度 0.2/0.3mm | 长度 100 宽度 15 厚度 0.2/0.3/0.5mm | 长度 100 宽度 20 厚度 0.2/0.3/0.5mm | 沟槽尺寸:长 50 深 2.6 |
原理
钼/钨/钽蒸发舟用于热蒸发系统,以沉积各种金属、合金和材料。通过电流加热蒸发舟,使材料蒸发。蒸发后的材料在基底上凝结,形成薄膜。薄膜的厚度可通过通过舟的电流大小和蒸发时间来控制。
优点
- 优异的耐腐蚀性
- 蒸汽压力低
- 良好的导电性
- 熔点极高
- 尺寸稳定
FAQ
什么是热蒸发源?
使用蒸发舟的注意事项。
热蒸发源的主要类型有哪些?
热蒸发源是如何工作的?
使用热蒸发源有哪些优势?
热蒸发源有哪些应用?
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PDF - 钼/钨/钽蒸发舟
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