产品 实验室耗材和材料 薄膜沉积部件 钼/钨/钽蒸发舟
钼/钨/钽蒸发舟

薄膜沉积部件

钼/钨/钽蒸发舟

货号 : KME01

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材料
钨/钼/钽
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简介

蒸发舟用于电阻蒸发过程中加热和蒸发材料。蒸发舟由蒸汽压较低的材料制成,如钨、钼、钼-镧(ML)、钼-氧化钇(MY)或钽,以确保舟材料的颗粒不会进入蒸汽和最终层。蒸发舟具有优异的耐腐蚀性、低蒸汽压、良好的导电性、极高的熔点和尺寸稳定性。

应用

蒸发舟源用于热蒸发系统,以沉积金属、合金和材料。它们有不同厚度,由钨、钽和钼制成,确保与各种电源兼容。这些艇对于真空蒸发和薄膜沉积(包括电子束制造)至关重要。它们广泛应用于真空镀膜、电子、太阳能和冶金等行业。为防止开裂,必须逐步加热容器。蒸发舟是一种多功能工具,在材料分析和薄膜沉积过程中发挥着重要作用。

钼、钨和钽蒸发舟可应用于各行各业,包括

  • 材料的真空蒸发
  • 熔炉设备中的载舟
  • 稀土工业
  • 核燃料烧结
  • 电容器放电烧结

细节和零件

钼/钨/钽蒸发舟细节 1

钼/钨/钽蒸发舟细节 2

钼/钨/钽蒸发舟细节 3

长 100 宽 8 厚度 0.2/0.3mm 长度 100 宽度 15 厚度 0.2/0.3/0.5mm 长度 100 宽度 20 厚度 0.2/0.3/0.5mm 沟槽尺寸:长 50 深 2.6

原理

钼/钨/钽蒸发舟用于热蒸发系统,以沉积各种金属、合金和材料。通过电流加热蒸发舟,使材料蒸发。蒸发后的材料在基底上凝结,形成薄膜。薄膜的厚度可通过通过舟的电流大小和蒸发时间来控制。

优点

  • 优异的耐腐蚀性
  • 蒸汽压力低
  • 良好的导电性
  • 熔点极高
  • 尺寸稳定

FAQ

什么是钨舟?

钨船是由钨金属制成的小型容器或托盘。在各种工业和实验室应用中,它们被设计用于在高温下盛放和运输材料。钨舟通常用于蒸发、烧结和热分析等过程。

使用钨舟有哪些优势?

钨舟在高温应用中具有多种优势。首先,钨的熔点极高,达到 3422°C,因此适合在温度极高的环境中使用。钨舟还具有出色的导热性,可实现高效热传导并均匀加热被加工材料。它们具有很高的机械强度,即使在高温下也能承受变形和翘曲。钨具有很强的耐化学腐蚀性,因此钨舟可与多种材料和环境兼容。此外,钨的蒸汽压较低,这意味着它的蒸汽污染极小,因此适合高纯度应用。钨舟的使用寿命长,可反复使用而不会出现明显的老化。

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

使用蒸发舟的注意事项。

将待分析物品放入坩埚或沙加中加热;加热温度的升高和降低取决于设备和产品的特性;加热或冷却速度过快都会导致蒸发舟破裂。最好的办法是放慢加热过程,这样可以延长蒸发舟的使用寿命。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

使用蒸发舟有哪些优势?

蒸发舟在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们为材料的蒸发提供受控环境,确保对薄膜厚度和均匀性的精确控制。蒸发舟可承受高温并提供高效热传导,从而实现稳定的蒸发率。蒸发舟有各种尺寸和形状,可适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发舟可以沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。它们易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发舟是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

蒸发舟的典型使用寿命是多久?

蒸发舟的使用寿命取决于多个因素。这主要取决于蒸发舟所使用的材料、操作条件和使用频率。与陶瓷材料制成的蒸发舟相比,钨或钼等难熔金属制成的蒸发舟通常更耐用,使用寿命更长。只要处理得当、定期维护和采用适当的清洁程序,蒸发舟通常可用于多个沉积周期。不过,随着时间的推移,蒸发舟可能会出现磨损,如开裂或降解,这可能会缩短其使用寿命。重要的是要监控蒸发舟的状况,进行定期检查,并在必要时进行更换,以确保持续可靠的薄膜沉积。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。

蒸发舟可以重复使用吗?

蒸发舟可以重复使用,但这取决于几个因素。蒸发舟的状况、清洁度以及与不同蒸发材料的兼容性在决定其是否可以重复使用方面起着重要作用。如果蒸发舟状况良好,没有裂缝或缺陷,并已彻底清洁,通常可以重复用于后续沉积。但是,如果蒸发舟接触过活性材料或有降解迹象,则可能不适合重复使用。在重复使用蒸发舟时,要考虑到污染或意外反应的可能性。定期检查和适当的清洁程序对于保持蒸发舟的性能和确保其适合重复使用至关重要。

如何选择合适的蒸发舟材料?

选择合适的蒸发舟材料取决于几个因素。考虑蒸发材料的熔点,选择熔点较高的蒸发舟材料,以防止蒸发舟失效。此外,还要考虑蒸发舟材料与蒸发剂的相容性,以避免发生反应或污染。应评估舟的导热性和热容量,以便在蒸发过程中有效传热和控制温度。此外,还要考虑蒸发舟的机械性能,如强度和耐用性,以确保其能够承受反复的加热和冷却循环。
查看更多该产品的问题与解答

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I'm very happy with these evaporation boats. They're well-made and perform as expected.

Emma Dubois

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