产品 实验室耗材和材料 薄膜沉积部件 钼/钨/钽蒸发舟
钼/钨/钽蒸发舟

薄膜沉积部件

钼/钨/钽蒸发舟

货号 : KME01

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材料
钨/钼/钽
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简介

蒸发舟用于电阻蒸发过程中加热和蒸发材料。蒸发舟由蒸汽压较低的材料制成,如钨、钼、钼-镧(ML)、钼-氧化钇(MY)或钽,以确保舟材料的颗粒不会进入蒸汽和最终层。蒸发舟具有优异的耐腐蚀性、低蒸汽压、良好的导电性、极高的熔点和尺寸稳定性。

应用

蒸发舟源用于热蒸发系统,以沉积金属、合金和材料。它们有不同厚度,由钨、钽和钼制成,确保与各种电源兼容。这些艇对于真空蒸发和薄膜沉积(包括电子束制造)至关重要。它们广泛应用于真空镀膜、电子、太阳能和冶金等行业。为防止开裂,必须逐步加热容器。蒸发舟是一种多功能工具,在材料分析和薄膜沉积过程中发挥着重要作用。

钼、钨和钽蒸发舟可应用于各行各业,包括

  • 材料的真空蒸发
  • 熔炉设备中的载舟
  • 稀土工业
  • 核燃料烧结
  • 电容器放电烧结

细节和零件

钼/钨/钽蒸发舟细节 1

钼/钨/钽蒸发舟细节 2

钼/钨/钽蒸发舟细节 3

长 100 宽 8 厚度 0.2/0.3mm 长度 100 宽度 15 厚度 0.2/0.3/0.5mm 长度 100 宽度 20 厚度 0.2/0.3/0.5mm 沟槽尺寸:长 50 深 2.6

原理

钼/钨/钽蒸发舟用于热蒸发系统,以沉积各种金属、合金和材料。通过电流加热蒸发舟,使材料蒸发。蒸发后的材料在基底上凝结,形成薄膜。薄膜的厚度可通过通过舟的电流大小和蒸发时间来控制。

优点

  • 优异的耐腐蚀性
  • 蒸汽压力低
  • 良好的导电性
  • 熔点极高
  • 尺寸稳定

FAQ

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

使用蒸发舟的注意事项。

将待分析物品放入坩埚或沙加中加热;加热温度的升高和降低取决于设备和产品的特性;加热或冷却速度过快都会导致蒸发舟破裂。最好的办法是放慢加热过程,这样可以延长蒸发舟的使用寿命。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。
查看更多该产品的问题与解答

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