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引言
蒸发舟用于电阻蒸发工艺中加热和蒸发材料。它们由低蒸气压的材料制成，如钨、钼、钼-镧 (ML)、钼-氧化钇 (MY) 或钽，以确保蒸发物中不含舟体材料的颗粒，从而保证最终层的纯净。蒸发舟具有优异的耐腐蚀性、低蒸气压、良好的导电性、非常高的熔点和尺寸稳定性。
应用
蒸发舟源用于热蒸发系统，用于沉积金属、合金和材料。它们有不同厚度的钨、钽和钼制成，确保与各种电源兼容。这些蒸发舟对于真空蒸发和薄膜沉积至关重要，包括电子束制造。它们广泛应用于真空镀膜、电子、太阳能和冶金等行业。为防止开裂，必须逐渐加热容器。蒸发舟是多功能工具，在材料分析和薄膜沉积过程中起着至关重要的作用。
钼、钨和钽蒸发舟在各个行业都有应用，包括：
- 材料真空蒸发
- 炉机中的承载舟
- 稀土工业
- 核燃料烧结
- 电容器放电烧结
细节与零件
| 长度100 宽度8 厚度0.2/0.3mm | 长度100 宽度15 厚度0.2/0.3/0.5mm | 长度100 宽度20 厚度0.2/0.3/0.5mm | 槽尺寸：长度50 深度2.6 |
原理
钼/钨/钽蒸发舟用于热蒸发系统，用于沉积各种金属、合金和材料。通过电流通过蒸发舟对其进行加热，从而使材料蒸发。然后蒸发的材料在基板上凝结，形成薄膜。薄膜的厚度可以通过通过蒸发舟的电流大小和蒸发时间来控制。
优点
- 优异的耐腐蚀性
- 低蒸气压
- 良好的导电性
- 非常高的熔点
- 尺寸稳定性
FAQ
什么是热蒸发源？
使用蒸发舟的注意事项。
热蒸发源的主要类型有哪些？
热蒸发源是如何工作的？
使用热蒸发源有哪些优势？
热蒸发源有哪些应用？
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