请回答:
是的,热蒸发用于沉积金属薄膜。这种方法是物理气相沉积(PVD)中的一种常用技术,广泛应用于各行各业,用于在基底上沉积金属和非金属。
说明:
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工艺概述:
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热蒸发是指在高真空环境中加热材料,直至其汽化。然后,蒸气穿过真空,在较冷的基底上凝结,形成薄膜。这种工艺对熔点相对较低的金属特别有效,因此应用范围广泛。应用:
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该技术通常用于沉积 OLED、太阳能电池和薄膜晶体管等设备的金属接触层。它还可用于沉积用于晶片键合的厚铟层。通过控制单个坩埚的温度来共同沉积多种成分的能力可实现更复杂的应用,例如在半导体晶片和碳基 OLED 中创建金属结合层。
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方法:
在热蒸发过程中,电阻式热源用于加热真空室中的材料。材料被加热,直到其蒸气压高到足以发生蒸发。蒸发后的材料覆盖在基底上,基底通常位于蒸发材料的上方。使用电阻船或线圈可以直观地看到这一过程,电流通过金属带加热材料颗粒,直到它们熔化并蒸发,在所需表面上形成涂层。
工业相关性: