说到沉积薄膜,有两种常见的方法,即热蒸发和电子束蒸发。
热蒸发与电子束蒸发的 5 个主要区别
1.加热方法
在热蒸发中,使用电阻 "舟 "来加热源材料。
高电流通过 "舟",使材料熔化并蒸发。
蒸发后的材料凝结在基底上形成薄膜。
电子束蒸发则是利用一束高能电子直接加热和蒸发源材料。
电子由钨丝产生,并加速射向目标材料,使其蒸发。
2.对材料的适用性
热蒸发非常适合需要较低熔化温度的材料。
这包括金属和非金属。
电子束蒸发可以处理温度较高的材料,如氧化物。
3.沉积速率
与热蒸发相比,电子束蒸发通常具有更高的沉积率。
这意味着使用电子束蒸发可以更快地实现薄膜涂层。
4.薄膜涂层
热蒸发产生的薄膜涂层密度较低。
而电子束蒸发可以获得更高密度的涂层。
这是由于不同的加热机制和电子束提供的更高能量。
5.杂质风险
由于坩埚被加热,热蒸发产生杂质的风险更大。
这会导致蒸发材料受到污染。
而电子束蒸发由于通过电子束直接加热源材料,因此可以获得纯度更高的薄膜。
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