热蒸发源对于沉积各种材料至关重要。
这些源主要包括舟、篮、丝和涂层棒。
它们通常由钨、钽或钼等材料制成。
这些源的加热方法是灯丝蒸发或电子束（E-Beam）蒸发。
5 种主要类型说明
1.船型
舟是一种常见的热蒸发源。
它们有各种尺寸。
在相同的沉积率下，较大的舟一般需要较高的功率。
不过，它们可以处理更高的最大沉积率。
2.灯丝蒸发
灯丝蒸发涉及使用一个简单的电加热元件。
这种方法非常简单，依靠灯丝的电阻产生热量。
3.电子束蒸发
电子束蒸发使用电子束直接加热源材料。
这种方法特别适用于难熔材料或需要较高温度才能蒸发的材料。
4.薄膜蒸发系统
薄膜蒸发系统具有高沉积速率等优点。
它们还提供实时的速率和厚度控制。
蒸发流的良好定向控制有利于像 Lift Off 这样的工艺实现直接图案涂层。
5.热蒸发材料
热蒸发材料包括各种物质，如金、银、钛、二氧化硅、钨和铜。
这些材料可以在接近熔点的温度下升华或蒸发，具体取决于它们的蒸汽压。
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