热蒸发源主要包括通常由钨、钽或钼等材料制成的舟、篮、灯丝和涂层棒。这些热源的加热方法要么是使用电加热元件的灯丝蒸发，要么是电子束（E-Beam）蒸发，即电子束加热源材料。
蒸发舟 是一种常见的热蒸发源，有各种尺寸。在相同的沉积速率下，较大的舟通常需要更高的功率，但可以处理更高的最大沉积速率。
灯丝蒸发 涉及使用简单的电加热元件或灯丝来加热源材料。这种方法简单直接，依靠灯丝的电阻产生热量。
电子束蒸发 使用电子束直接加热源材料，使其蒸发。这种方法特别适用于难熔材料或需要较高温度才能蒸发的材料。
薄膜蒸发系统 具有高沉积速率、实时速率和厚度控制以及良好的蒸发流方向控制等优势，有利于像 Lift Off 这样的工艺实现直接图案涂层。
热蒸发材料 热蒸发材料包括各种物质，如金、银、钛、二氧化硅、钨和铜。这些材料可以在接近熔点的温度下升华或蒸发，具体取决于它们的蒸汽压。
自 1912 年首次使用以来，热蒸发技术的发展有了长足的进步，例如引入了电子束蒸发和等离子体蒸发，从而将该技术扩展为反应蒸发。
总之，热蒸发源是沉积各种材料的关键，由电丝或电子束加热。这些源由高温材料制成，其设计可承受蒸发过程中产生的热量。源和加热方法的选择取决于被蒸发材料的具体要求和所需的沉积特性。
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