双级真空泵旨在达到超高真空 (UHV) 级别。
这些真空度的典型特征是压力低于约 100 纳帕斯卡（10-7 帕斯卡，10-9 毫巴，~10-9 托）。
这种泵采用双级机制来提高真空性能。
4 关于双级真空泵压力和性能的重要见解
1.双级机构
双级真空泵包含两组转子和叶片。
第一级称为高真空级，吸入工艺气体。
该级首先将压力降至较低水平。
然后，气体被输送到第二级，即低真空级。
在这里，气体被进一步压缩到接近大气压。
与单级泵相比，这种双级工艺大大提高了整体真空性能。
2.提高真空度
双级真空泵的主要优点是能够实现更深的压力水平和更好的真空性能。
这在要求高纯度和最小气体污染的工业应用中至关重要。
双级设计可更有效地去除气体，从而获得更清洁、更稳定的真空环境。
3.在工业环境中的应用
在工业环境中，双级真空泵通常是首选，因为它们能够满足超高真空应用的严格要求。
双级真空泵尤其适用于残余气体含量要求极低的工艺，例如半导体制造。
即使是微量污染物也会影响产品质量。
4.运行效率
双级真空泵的设计提高了其运行效率。
它包括一个用于低真空抽气的干泵和一个用于高真空抽气的分子泵。
这种组合不仅降低了油污染的风险，还提高了对水蒸气等特定气体的去除率。
这对于保持真空环境的完整性至关重要。
总之，双级真空泵的设计目的是达到并保持超高真空度。
这使其成为对高真空性能要求极高的行业的必备工具。
其双级设计和高效的气体去除能力使其有别于单级泵。
它在降低压力和提高气体纯度方面具有卓越的性能。
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