要使用 XRF（X 射线荧光）技术确定薄膜的厚度，必须了解该方法的功能和局限性。
XRF 特别适用于测量涂层和薄膜的厚度。
然而，根据薄膜的特性和所用设备的不同，其效果也不尽相同。
在此，我们将根据所提供的参考资料，探讨 XRF 技术在薄膜厚度测量方面的关键点。
5 个要点解析：XRF 薄膜厚度测量须知
1.XRF 测量的厚度范围
最小检测厚度： XRF 可以检测低至 1 纳米的薄膜厚度。
低于此水平时，特征 X 射线可能与噪声信号无法区分。
最大检测厚度： XRF 测量的上限约为 50 μm。
超过这个厚度，内层发射的 X 射线就无法穿透涂层到达检测器，从而达到饱和状态，无法测量厚度的进一步变化。
2.选择准直器的重要性
准直器的功能： XRF 分析仪中的准直器将 X 射线导向样品并限制光斑大小。
正确选择准直器对于确保精确测量至关重要。
准直器尺寸不正确会将周围区域纳入分析范围，从而导致测量不准确。
准直仪尺寸和光斑尺寸： 不同尺寸的准直仪可用于匹配被测样品的尺寸。
选择准直器时应考虑光束发散，以优化精度。
3.XRF 仪器中的探测器类型
比例计数器： 这些检测器使用电离惰性气体产生与吸收的能量成比例的信号。
它们通常用于早期的涂层分析仪。
硅漂移检测器 (SDD)： SDD 是一种基于半导体的检测器，在暴露于 X 射线时会产生与样品中元素数量成比例的电荷。
它们效率很高，常用于现代 XRF 仪器中。
4.有效范围和应用
典型厚度范围： 手持式 XRF 设备可测量的涂层厚度通常为 0.001 至 0.01 毫米。
此范围适用于各种表面工程技术，如电镀、气相沉积、树脂或漆粘合。
材料适用性： XRF 可有效测量多层材料的厚度，并提供单层厚度和密度的信息。
这对厚度达 100 纳米的材料尤其有用。
5.精确测量的先决条件
厚度与表面粗糙度： 要进行精确的 XRF 测量，薄膜厚度至少应比表面粗糙度大一个数量级。
已知成分和结构： 要避免测量误差，必须了解样品的成分和结构。
总之，XRF 技术为测量薄膜厚度提供了一种通用而有效的方法，尤其适用于薄涂层和多层材料。
正确的设备设置，包括选择合适的准直器和检测器，对于获得准确可靠的结果至关重要。
了解 XRF 在薄膜厚度方面的局限性和能力，对于任何希望有效利用这项技术的实验室设备购买者来说都至关重要。
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