要有效清洁溅射靶材，您必须将细致的腔外（真空室外）准备工作与强制性的腔内（真空室内）预溅射循环相结合。最常见和最基本的方法包括使用高纯度溶剂（如异丙醇和丙酮）擦拭靶材进行外部清洁，随后进行关键的“点火”溅射过程，在沉积前立即关闭快门以去除表面氧化层。
真正的目标不仅仅是清洁的靶材，而是稳定且可重复的沉积过程。实现这一目标最关键的一步是进行一致的腔内预溅射或“点火”，以去除靶材暴露于空气中时不可避免形成的表面污染物。
靶材清洁的两个领域：腔内与腔外
了解在哪里以及何时清洁靶材是基础。该过程分为两个不同的环境，每个环境都有不同的目的。
腔内清洁（预溅射）：不可协商的步骤
这是在沉积薄膜之前在真空室内进行的清洁。它是几乎所有溅射过程中强制性的一部分。
该技术涉及点燃等离子体并将靶材材料溅射到一个保护基板的可移动快门上。这个“点火”阶段会去除暴露于即使微量空气中的任何材料表面上形成的薄的、受污染的表面层——主要是氧化物和吸附的气体。
此步骤可确保只有纯靶材材料到达您的基板，从而实现工艺稳定性和更高质量的薄膜。
腔外清洁：用于安装和严重污染
这是在真空室外进行的物理清洁，通常在新靶材安装前或在解决严重污染问题时进行。
腔外清洁不是日常任务。它是一种准备性或纠正性措施，旨在去除仅靠预溅射无法有效去除的重度污染物，如油污、指纹或厚氧化层。
腔外清洁的实用指南
当您需要物理清洁靶材时，请遵循一个周密、有条不紊的过程，始终从最不具侵入性的方法开始，直到达到所需的最具侵入性的方法。
步骤 1：先处理和安全
清洁过程的基础是首先防止污染。
始终使用干净的、无粉的丁腈或乙烯基手套来处理溅射靶材。皮肤油脂是可能破坏沉积过程的有机污染的重要来源。
步骤 2：溶剂擦拭以去除轻微污染
对于新靶材或表面有轻微污染的靶材，溶剂擦拭是标准程序。
在无绒布上使用高纯度（99%+）的异丙醇 (IPA) 或丙酮。轻轻地从中心向外以单个方向擦拭靶材表面，以将污染物移到边缘，而不是将其涂抹开。切勿重复使用擦拭布。
步骤 3：机械清洁以去除大量堆积物
这是一种侵入性的纠正措施，仅适用于有严重氧化、电弧损坏或溶剂无法去除的工艺堆积物的靶材。
方法包括玻璃珠喷砂甚至在车床上重新加工表面。这应被视为最后的手段，因为它从根本上改变了靶材的表面纹理，如果操作不当，可能会将清洁介质嵌入材料中。
理解权衡和常见陷阱
不正确的清洁策略可能会带来比解决问题更多的问题。了解风险对于维持可靠的工艺至关重要。
过度清洁的风险
剧烈的机械清洁会改变靶材的溅射率和均匀性。改变的表面形貌可能导致在靶材“适应”运行几次之前薄膜性能不一致。
化学不相容性
切勿假设某种溶剂或酸对您的靶材材料是安全的。活性金属可能会被某些化学物质损坏。使用盐酸 (HCl) 等酸进行清洁需要深入的材料知识，并且如果操作不当，可能存在危险，是一种专业化的过程。
忽略靶材处理协议
最常见的污染源是人为错误。一个指纹就可能引入足够的碳，导致敏感工艺中出现缺陷或粘附失败。严格的手套和处理协议比任何反应性清洁程序都更有效。
如何选择您的清洁策略
您的方法应由您的具体情况和沉积工艺的目标决定。
- 如果您的主要重点是常规工艺稳定性： 掌握您的腔内预溅射。对您的点火过程使用固定的时间和功率，以确保每次运行都从相同的表面条件开始。
- 如果您正在安装全新的靶材： 在安装前进行彻底的腔外溶剂擦拭，然后进行比平时更长的初始点火，以充分“调理”新表面。
- 如果您看到薄膜污染或工艺电弧： 首先检查靶材是否有可见污染。如果存在，进行腔外溶剂清洁，然后重新评估工艺。
一致且记录良好的清洁协议是高质量、可重复的薄膜沉积的基础。
摘要表：
| 清洁方法 | 环境 | 目的 | 关键操作 |
|---|---|---|---|
| 腔外清洁 | 真空室外 | 去除重度污染（油污、指纹） | 用高纯度溶剂（IPA、丙酮）擦拭 |
| 腔内清洁（预溅射） | 真空室内 | 去除表面氧化物和吸附气体 | 沉积前关闭快门溅射靶材 |
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