清洁溅射靶材是实现高质量薄膜沉积的关键。
以下是确保溅射靶材清洁并可随时使用的分步指南。
如何清洁溅射靶材？4 个基本步骤和注意事项
步骤 1：用柔软的无绒布蘸丙酮擦拭
这将有助于去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。
步骤 2：用酒精清洁
这一步骤有助于进一步去除目标上的任何污染物或残留物。
步骤 3：用去离子水清洗
使用去离子水可确保彻底清除靶材上的任何残留杂质或残留物。
步骤 4：在烘箱中烘干目标
用去离子水清洗后，将靶材放入烘箱，在 100 ℃ 下烘干 30 分钟。
这一步骤对于确保靶材在进一步使用前完全干燥非常重要。
溅射过程中的注意事项
1.溅射准备
保持真空室和溅射系统的清洁非常重要。
任何残留物或污染物都会增加薄膜失效或系统短路的可能性。
2.目标安装
确保靶材与溅射枪稳定壁之间有良好的热连接。
如果冷却板或背板翘起，会影响导热性，导致靶破裂或弯曲。
3.保持溅射气体清洁
氩气或氧气等溅射气体应清洁干燥，以保持涂层的成分特性。
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