按照以下步骤清洁溅射靶材：
步骤 1：用柔软的无绒布蘸丙酮擦拭。这将有助于清除溅射靶表面可能存在的灰尘或污垢。
步骤 2：用酒精清洁。这一步骤有助于进一步去除目标上的任何污染物或残留物。
步骤 3：用去离子水清洗。使用去离子水可确保彻底清除目标上的任何残留杂质或残留物。
步骤 4：用去离子水清洗后，将目标放入烘箱，在 100 ℃ 下烘干 30 分钟。这一步骤对于确保靶材在进一步使用前完全干燥非常重要。
除了清洗溅射靶材外，在溅射过程中还需采取一些预防措施：
1.溅射准备：保持真空室和溅射系统的清洁非常重要。任何残留物或污染物都会增加薄膜失效或系统短路的可能性。
2.目标安装：确保靶材与溅射枪稳定壁之间有良好的热连接。如果冷却板或背板翘起，可能会影响导热性，导致靶破裂或弯曲。
3.保持溅射气体清洁：氩气或氧气等溅射气体应清洁干燥，以保持涂层的成分特性。
总之，清洁和维护溅射靶材对于实现高质量薄膜沉积和防止溅射过程中出现任何潜在问题至关重要。
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