溅射是一种用于在基底上形成薄膜的工艺。它是将原子从固体目标材料喷射到气相中，然后沉积到基底上。这种技术因其精确性和对沉积薄膜特性的控制而广泛应用于各行各业。
如何进行溅射？6 个简单步骤
1.真空室设置
该过程在真空室中开始。受控气体（通常是氩气）被引入真空室。真空环境至关重要，因为它能最大限度地减少可能干扰沉积过程的其他分子数量。
2.生成等离子体
腔室内的阴极通电。这导致产生自持等离子体。在该等离子体中，氩原子失去电子，变成带正电的离子。
3.离子轰击
这些带正电荷的氩离子在电场的作用下加速冲向目标材料。这些离子的能量很高，足以在撞击时使目标材料中的原子或分子发生错位。
4.4. 喷射目标材料
高能离子撞击靶材会导致原子或分子从靶材中喷射出来。这一过程称为溅射。喷射出的材料形成蒸汽流。
5.沉积到基底上
现在处于蒸汽状态的溅射材料穿过腔体，沉积到腔体内的基底上。沉积的结果是形成具有特定性能（如反射率、导电性或电阻）的薄膜。
6.控制和优化
可以对溅射工艺参数进行微调，以控制沉积薄膜的特性。这包括其形态、晶粒取向、尺寸和密度。这种精确性使溅射技术成为在分子水平上创建材料间高质量界面的通用技术。
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