扩散泵用于在各种工业应用中产生高真空，利用沸腾流体的蒸气捕获和移动空气分子，无需移动部件即可运行。
答案摘要：
扩散泵是一种流体夹带泵，利用沸腾流体的蒸汽捕获空气分子，然后将其移动到另一个位置，冷却后释放。这一过程可使泵产生 10-2 至 10-10 托的高真空，使其适用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等应用。
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详细说明：工作原理：
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与使用活塞或鳍片对空气进行物理置换的机械泵不同，扩散泵使用的是一种经过沸腾产生蒸汽的流体（通常称为油）。这种蒸汽会捕获空气分子并将它们带到泵的底部，在那里它们会被冷却并释放出来。在此过程中，由于重力作用，蒸汽会向下流动。使用的流体类型：
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泵可以使用不同类型的流体，每种流体都具有特定的属性。例如，聚苯醚耐电子轰击，蒸汽压力低，适合某些高科技应用。另一方面，全氟聚醚具有高惰性，加热时会分解成气体，有助于保持真空的完整性，但由于其毒性，需要小心处理。应用：
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扩散泵能够产生高真空，且无活动部件，因此在各种工业应用中都非常耐用可靠。其中包括电子束显微镜和真空沉积等关键过程，前者的高真空对电子束的运行至关重要，后者则是在真空环境中将材料蒸发并沉积到基底上。维护和操作：
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扩散泵只需最低限度的维护，主要涉及油位和加热器系统的监控和维护。加热元件的正确对准对于高效运行至关重要。与其他泵的比较：
扩散泵与使用叶轮或蒸汽动力将气体推向出口的动能泵有很大不同。动能泵通常用于高压应用，在真空系统中被视为次级泵。
总之，扩散泵是在工业环境中制造高真空的专用工具，它利用不同流体的特性来有效地捕获和去除空气分子。
