扩散泵是一种专用工具，用于在各种工业应用中产生高真空。
它利用沸腾流体的蒸气捕获和移动空气分子，在没有活动部件的情况下工作。
答案概要：
扩散泵是一种流体夹带泵，利用沸腾流体的蒸汽捕获空气分子。
然后将这些分子移动到另一个位置，冷却后再释放出来。
这一过程可使泵产生 10-2 至 10-10 托的高真空。
这使其适用于电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等应用。
详细说明
1.工作原理
与使用活塞或鳍片来物理置换空气的机械泵不同，扩散泵使用的是一种经过沸腾产生蒸汽的流体（通常称为油）。
水蒸气捕捉空气分子并将其带到泵的底部，然后将其冷却并释放出来。
在此过程中，由于重力作用，蒸汽会向下流动。
2.使用的流体类型
泵可以使用不同类型的流体，每种流体都具有特定的属性。
例如，聚苯醚耐电子轰击，蒸汽压力低，适合某些高科技应用。
另一方面，全氟聚醚具有高惰性，加热时会分解成气体，有助于保持真空的完整性，但由于其毒性，需要小心处理。
3.应用
扩散泵无需移动部件即可产生高真空，因此在各种工业应用中都非常耐用可靠。
这些应用包括电子束显微镜等关键过程，在这些过程中，高真空对电子束的运行至关重要。
真空沉积是指在真空环境中将材料蒸发并沉积到基底上，这是另一种关键应用。
4.维护和操作
扩散泵只需最低限度的维护，主要涉及油位和加热器系统的监控和维护。
加热元件的正确对准对于高效运行至关重要。
5.与其他泵的比较
扩散泵与使用叶轮或蒸汽动量将气体推向出口的动能泵有很大不同。
动能泵通常用于高压应用，在真空系统中被视为次级泵。
总之，扩散泵是在工业环境中制造高真空的专用工具。
它利用不同流体的特性，有效地捕获和去除空气分子。
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