扩散真空泵是一种工作时没有任何移动部件的真空泵。
它利用沸腾流体的蒸汽来捕获和去除腔体内的空气分子。
这使得它能够达到 10^-2 到 10^-10 托的高真空度。
扩散泵不同于机械泵，后者使用活塞或鳍片等物理机制来置换空气。
这些泵被归类为流体夹带泵。
在这种泵中，工作流体的蒸汽会夹带空气分子。
然后，空气分子被引导并冷却，在不同的位置释放出来。
这一过程在电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等各种工业应用中至关重要。
需要了解的 5 个要点
1.无运动部件运行
扩散真空泵在运行时没有任何移动部件。
这与依靠物理机制的机械泵有很大不同。
2.使用沸腾流体蒸汽
这些泵利用沸腾流体的蒸汽来捕获和去除空气分子。
这种方法可使它们达到很高的真空度。
3.流体夹带过程
工作流体的蒸汽夹带空气分子。
然后，这些分子被引导和冷却，在不同的位置释放出来。
4.在工业应用中至关重要
扩散泵在各种工业应用中至关重要。
这些应用包括电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉。
5.与其他泵的组合
在真空系统中，扩散泵通常与其他类型的泵一起使用。
机械泵或旋片泵通常用于初始抽气。
扩散泵用于实现低于机械泵单独所能产生的压力。
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