扩散真空泵是一种无需移动部件即可工作的真空泵，它利用沸腾流体的蒸汽来捕获和去除腔体内的空气分子，从而达到 10^-2 至 10^-10 托的高真空度。这种泵有别于机械泵，后者使用活塞或鳍片等物理机制来置换空气。扩散泵被归类为流体夹带泵，工作流体的蒸汽作用是夹带空气分子，然后对其进行引导和冷却，在不同位置释放空气分子。这一过程在电子束显微镜、真空沉积、涂层和真空炉等各种工业应用中至关重要。
扩散真空泵的运行需要使用一个保持泵来维持前线的低压，确保泵油不会逆流进入腔室。这是通过自动和联锁真空抽气以及真空阀的正确排序来实现的。泵的设计和运行经过优化，可防止泵油污染真空室，这对保持真空环境的完整性至关重要。
在真空系统中，扩散泵通常与机械泵或旋片泵等其他类型的泵配合使用，以达到所需的真空度。机械泵通常用于将真空从大气压初步抽至中间水平，而扩散泵则用于实现低于机械泵单独所能产生的压力。这种泵的组合在真空炉和其他高真空应用中很常见，在这些应用中，保持清洁稳定的真空环境至关重要。
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