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扩散真空泵是一种利用气体扩散原理实现高真空度的真空泵。与机械泵不同，它不依靠运动部件来压缩气体。相反，它利用高速喷射的蒸汽（通常为油或汞）夹带气体分子并将其引向排气口，从而产生压力差。这一过程可使真空泵达到极低的压力，使其适用于半导体制造、研究实验室和空间模拟等行业的高真空应用。扩散真空泵通常与前级泵搭配使用，如 隔膜真空泵 在扩散泵接替之前，隔膜真空泵可处理更高的压力范围。

要点说明：

1. 扩散真空泵的工作原理:

   • 扩散真空泵的工作原理是利用高速喷射的蒸汽（通常为油或汞）夹带真空室中的气体分子。
   • 蒸汽喷射会产生压力梯度，将气体分子引向排气口，再由前级泵将其排出。
   • 这一过程不依赖机械压缩，因此适合实现超高真空度。

2. 关键部件:

   • 蒸汽源:泵使用加热流体（油或汞）产生蒸汽喷射。
   • 喷嘴系统:蒸汽通过喷嘴形成高速喷流。
   • 冷却系统:冷却装置将蒸汽冷凝为液体，使其能够再次使用。
   • 备用泵:A 隔膜真空泵 或类似装置，将压力降低到扩散泵能有效工作的水平。

3. 优点:

   • 高真空度:扩散泵的压力可低至 10^-7 托至 10^-10 托，是高真空应用的理想选择。
   • 无活动部件:无机械部件可减少磨损，从而降低维护要求。
   • 耐化学性:使用化学性质稳定的流体时，这些泵可处理腐蚀性气体。

4. 应用范围:

   • 半导体制造:用于薄膜沉积和蚀刻等对真空度要求较高的工艺。
   • 研究实验室:非常适合需要超高真空的实验，如表面科学和粒子物理学。
   • 空间模拟:用于复制太空真空条件，以测试航天器部件。

5. 与隔膜真空泵的比较:

   • 扩散泵在高真空应用中表现出色、 隔膜真空泵 隔膜真空泵更适用于中低真空。
   • 隔膜泵不含油且耐化学腐蚀，因此非常适合食品、化妆品和化学工业等需要防止污染的应用。
   • 扩散泵需要背泵（通常是隔膜泵）来处理较高的压力范围，然后才能有效运行。

6. 维护和限制:

   • 扩散泵需要定期维护加热和冷却系统，以确保高效运行。
   • 扩散泵对微粒或活性气体的污染很敏感，这些污染会使泵液变质。
   • 与其他真空泵相比，初始设置成本较高，但高真空性能带来的长期优势往往能证明投资的合理性。

通过了解这些要点，购买者可以就扩散式真空泵是否适合其特定应用做出明智的决定，尤其是在与以下设备搭配使用时 隔膜真空泵 以达到最佳性能。

汇总表：

方面	详细信息
工作原理	利用高速蒸汽喷射夹带气体分子，形成真空。
关键部件	蒸汽源、喷嘴系统、冷却系统和备用泵。
优点	真空度高、无活动部件、耐化学腐蚀。
应用领域	半导体制造、研究实验室和空间模拟。
比较	最适合高真空；通常与隔膜泵搭配使用，以达到最佳效果。
维护	需要定期维护供暖和制冷系统。

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