碳化硅（SiC）是一种在半导体工业中应用广泛的材料。
这得益于其独特的性能，包括宽带隙、高热导率、高电子迁移率和卓越的击穿电场强度。
这些特性使碳化硅成为功率半导体器件的理想材料。
它解决了硅（Si）和砷化镓（GaAs）等传统材料的局限性。
碳化硅在半导体中的用途？7 种主要应用
1.半导体制造设备
碳化硅用于制造半导体制造设备的部件。
这些部件包括：感应器、滑环、提升销、电极、聚焦环和腔衬垫。
它们在快速热处理 (RTP)、等离子刻蚀、化学气相沉积 (CVD)、外延、离子注入、光刻和各种清洗方法等工艺中至关重要。
在这些应用中使用碳化硅是由于其耐高温和耐腐蚀环境的特性。
2.功率半导体器件
SiC 的特性使其成为功率器件的绝佳材料。
这些器件在要求高效率和高功率密度的应用中至关重要。
SiC 功率器件（如二极管和晶体管）可以在比硅器件更高的温度、频率和电压下工作。
这种能力尤其适用于电动汽车、可再生能源系统和工业电机驱动。
3.导电陶瓷
碳化硅陶瓷可以导电，从而提高其可加工性。
这样就可以进行放电加工。
这对于制造大型或形状复杂的碳化硅陶瓷部件尤其有用。
当碳化硅陶瓷的电阻率降低到 100Ω 厘米以下时，就可以对其进行精确而快速的加工。
这为复杂部件的生产提供了便利。
4.腐蚀性环境
SiC 具有出色的化学和物理稳定性，因此是暴露在腐蚀环境中的部件的理想材料。
这些应用包括发电厂的脱硫喷嘴和化工泵部件。
这些应用得益于碳化硅对酸、碱和其他腐蚀性介质的耐受性。
这可确保长期免维护运行。
5.高温应用
碳化硅广泛应用于高温领域。
这些应用包括工业炉中的电加热元件以及陶瓷和玻璃工业中的窑具。
它的高导热性和抗热震性使其适用于这些苛刻的环境。
6.国防和军事
在国防领域，SiC 陶瓷被用作防弹装甲。
这是因为它们具有高硬度和轻质的特性。
与其他材料相比，它们能以更轻的重量提供更好的保护。
这增强了防护装备的机动性和有效性。
7.耐磨性
由于具有高硬度，SiC 可用于磨料和耐磨部件。
其中包括密封环和轴承。
这些应用得益于 SiC 的低摩擦系数和出色的耐磨性。
这确保了机械部件的耐用性和使用寿命。
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