碳化硅(SiC)的制造过程涉及多种工业方法,包括烧结、反应键合、晶体生长和化学气相沉积(CVD)。碳化硅是一种人工合成的化合物,因其硬度、耐磨性和热性能而闻名,在各行各业都有重要价值。
烧结:
烧结碳化硅由纯碳化硅粉末与非氧化物烧结助剂制成。该工艺包括使用传统的陶瓷成型技术,并在温度高达 2000°C 或更高的惰性气氛中烧结材料。这种方法可获得致密而坚固的材料,适合高温应用。反应粘合:
反应结合碳化硅是通过将碳化硅和碳的混合物与液态硅渗入压实物而制成的。硅与碳发生反应,形成额外的碳化硅,从而将碳化硅颗粒粘结在一起。这种方法特别适用于制造复杂的形状和结构。
晶体生长:
制造商使用化学气相沉积法在硅晶片基底上生长单晶碳化硅薄膜。该工艺涉及多种技术,可在碳化硅薄膜中引入 n 型和 p 型掺杂剂,从而增强其电气性能。这种方法对于生产用于电子产品制造的高质量碳化硅晶体至关重要。化学气相沉积(CVD):
化学气相沉积用于生产具有极低电阻的碳化硅,使其成为合理的导电体。利用这一特性,可使用放电加工(EDM)方法制造精细特征,这对于制造高纵横比的微小孔洞非常有用。CVD 材料还具有密度低、刚度高、硬度极高和耐磨损的特点。
制备方法: