知识 DLC 涂层的化学成分是什么?4 个要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

DLC 涂层的化学成分是什么?4 个要点解析

DLC(类金刚石碳)涂层的化学成分主要由无定形碳组成,其中含有大量的 sp3 杂化碳键,这些碳键有助于形成类金刚石的特性。

DLC 涂层是通过等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)或射频等离子体辅助化学气相沉积(RF PECVD)等工艺形成的。

由此产生的碳原子和氢原子在基材表面重新结合,形成具有模仿金刚石特性的涂层,包括高硬度和耐磨性。

DLC 涂层的化学成分是什么?4 个要点说明

DLC 涂层的化学成分是什么?4 个要点解析

1.DLC 的组成

DLC 涂层主要由碳组成,其结构包括 sp2 和 sp3 杂化键。

sp3 键类似于金刚石中的sp3 键,赋予涂层高硬度和耐磨性。

sp2 和 sp3 键的确切比例会因沉积工艺和条件的不同而变化,从而影响 DLC 的性能。

2.沉积过程

DLC 涂层的形成通常涉及碳氢化合物气体在等离子环境中的解离。

在射频 PECVD 方法中,气体被等离子体电离并破碎成活性物质。

这些高能物质在基材表面发生反应和凝结,形成富碳薄膜。

该工艺在相对较低的温度下进行,因此可与各种基底产生良好的附着力。

3.3. 性能和应用

由于 DLC 涂层具有高硬度(维氏硬度高达 9000 HV)、耐磨性和低摩擦特性,因此非常适合应用于摩擦学系统,如发动机和机械组件。

它们还具有出色的表面光洁度,无需后处理,因此适用于高精度工具和装饰应用。

此外,DLC 涂层还具有化学惰性和生物相容性,可用于医疗部件和植入物。

4.误解和比较

必须澄清的是,DLC 不是一种涂层方法,而是一种涂层材料。

它经常与 PVD(物理气相沉积)混淆,后者是一种不同的涂层工艺。

虽然 DLC 和 PVD 涂层都可用于手表和其他应用,但 DLC 特指可使用各种技术(包括 PACVD)沉积的类金刚石碳材料。

总之,DLC 涂层的特点是其无定形碳结构中含有大量 sp3 碳键,因而具有类似钻石的特性。

这些涂层是通过等离子体辅助工艺形成的,具有高硬度、耐磨性和低摩擦的特点,因此在各种工业和医疗应用中用途广泛。

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