DLC(类金刚石碳)涂层的化学成分主要由无定形碳组成,其中含有大量的 sp3 杂化碳键,这些碳键有助于形成类金刚石的特性。DLC 涂层是通过等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)或射频等离子体辅助化学气相沉积(RF PECVD)等工艺形成的。由此产生的碳原子和氢原子在基底表面重新结合,形成具有模仿金刚石特性的涂层,包括高硬度和耐磨性。
详细说明:
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DLC 的成分:
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DLC 涂层主要由碳组成,其结构包括 sp2 和 sp3 杂化键。sp3键与钻石中的sp3键类似,赋予了涂层高硬度和耐磨性。sp2 和 sp3 键的确切比例会因沉积工艺和条件的不同而变化,从而影响 DLC 的性能。沉积工艺:
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DLC 涂层的形成通常涉及碳氢化合物气体在等离子环境中的解离。在射频 PECVD 方法中,气体被等离子体电离并破碎成活性物质。这些高能物质在基材表面发生反应和凝结,形成富碳薄膜。该工艺在相对较低的温度下进行,因此可与各种基材产生良好的粘附性。
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特性和应用:
由于 DLC 涂层具有高硬度(维氏硬度高达 9000 HV)、耐磨性和低摩擦特性,因此非常适合应用于摩擦学系统,如发动机和机械组件。它们还具有出色的表面光洁度,无需后处理,因此适用于高精度工具和装饰应用。此外,DLC 涂层还具有化学惰性和生物相容性,可用于医疗部件和植入物。
误解与比较: