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单级真空泵使用单组转子和叶片，而双级真空泵则使用两组转子和叶片，可实现低真空级和高真空级。它们的主要区别在于实现不同真空度的能力以及在不同压力范围内的效率。
单级真空泵：
单级真空泵通常是机械泵，使用单组转子和叶片运行。其设计目的是将压力从大气压（约 10^5 Pa）降低到较低的压力，通常约为 10 Pa。然而，当压力低于 20 托（约 2.67 千帕）时，其效率开始下降。这种泵适用于粗真空和低真空压力范围，通常用作真空系统中的主（前级）泵。双级真空泵：
双级真空泵包含两组转子和叶片，可在两个阶段运行：低真空阶段和高真空阶段。高真空级吸入工艺气体并将其输送至低真空级，低真空级将气体压缩至大气压。这种双级设计可使真空泵达到更深的压力级别和更好的真空性能，使其适用于需要超高真空 (UHV) 级别的应用。与单级真空泵相比，双级真空泵在压力较低时效率更高。
总之，一级真空泵和二级真空泵的主要区别在于它们的设计和可达到的真空度。单级泵适用于粗真空和低真空应用，而双级泵设计用于更深的真空度，因此效率更高，并能达到超高真空条件。
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