能量色散光谱法（EDS）和 X 射线荧光法（XRF）的区别主要在于它们的应用、检测方法和分析范围。EDS 用于微区成分分析，通常与电子显微镜联用，分析极小区域（通常在 1 μm 范围内）的元素成分。它的工作原理是在真空中用电子束轰击样品，激发发射特征 X 射线，这些 X 射线可用于识别和量化元素周期表中从 B 到 U 的元素。EDS 特别适用于定性和半定量分析，对于中等原子序数的元素，其检测限为 0.1%-0.5%，定量误差约为 2%。
另一方面，XRF 是一种非破坏性检测方法，用于对材料进行批量分析。它利用辐射激发样品中的原子，使其发射出所含元素特有的二次 X 射线。然后对这些二次 X 射线进行检测和分析，以确定样品的元素组成。XRF 能够在不损坏样品的情况下提供几乎完整的化学成分，因此被广泛应用于材料科学、地质学和环境分析等各个领域。XRF 还可进一步分为能量色散 XRF (ED-XRF) 和波长色散 XRF (WD-XRF)，后者的分辨率更高，但更为复杂和昂贵。
总之，EDS 适用于详细的微观分析，通常与电子显微镜结合使用，侧重于非常小的区域并提供详细的元素分析。而 XRF 则适用于对较大的样品进行更广泛的无损分析，为各行各业提供全面的元素组成数据。
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