知识 EDS 和 XRF 有什么区别?需要了解的 5 个要点
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

EDS 和 XRF 有什么区别?需要了解的 5 个要点

在分析材料成分时,有两种常用技术,即能量色散光谱法 (EDS) 和 X 射线荧光法 (XRF)。

需要了解的 5 个要点

EDS 和 XRF 有什么区别?需要了解的 5 个要点

1.分析的应用和规模

EDS 用于微区成分分析。

它通常与电子显微镜联用,分析非常小的区域,通常在 1 μm 范围内。

2.检测方法

EDS 的工作原理是在真空中用电子束轰击样品。

电子束发射出特征 X 射线,可用于识别和量化元素周期表中从 B 到 U 的元素。

3.检测极限和准确性

EDS 特别适用于定性和半定量分析。

对于中等原子序数的元素,其检测限为 0.1%-0.5%,定量误差约为 2%。

4.无损检测

XRF 是一种非破坏性检测方法,用于对材料进行批量分析。

它利用辐射来激发样品中的原子,使它们发出二次 X 射线,这些射线是所含元素的特征。5.多功能性和行业应用XRF 广泛应用于材料科学、地质学和环境分析等各个领域。

它能在不损坏样品的情况下提供几乎完整的化学成分。

XRF 可进一步分为能量色散 XRF (ED-XRF) 和波长色散 XRF (WD-XRF),后者的分辨率更高,但更为复杂和昂贵。

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