说到溅射，主要有两种类型：射频（RF）和直流（DC）。
这两种方法在几个重要方面有所不同。
射频和直流溅射的 5 个主要区别
1.电源类型
射频溅射使用交流电源。
这种电源以无线电频率交变电势。
这有助于防止目标上的电荷积聚。
直流溅射则使用直流电源。
这可能导致目标上的电荷积聚，尤其是绝缘材料。
2.电压和电源要求
直流溅射通常需要 2,000-5,000 伏特的电压。
射频溅射需要更高的电压，通常为 1,012 伏或更高。
这种差异是由气体等离子体的电离方式造成的。
在直流溅射中，电离是通过电子的直接离子轰击实现的。
在射频溅射中，利用动能将电子从气体原子中移除，这需要更大的功率。
3.腔室压力
射频溅射可在更低的腔室压力下运行，通常低于 15 mTorr。
直流溅射通常需要 100 mTorr 左右的较高压力。
射频溅射的压力较低，可减少等离子体粒子与靶材之间的碰撞。
这为溅射粒子到达基底提供了更直接的途径。
这将导致更高效、更均匀的薄膜沉积。
4.处理电荷积聚
射频溅射的一大优势是能够处理目标上的电荷积聚。
在直流溅射中，持续的电流会导致电荷积聚，尤其是在使用绝缘材料时。
射频溅射通过交变电流中和电荷积聚。
这可确保溅射过程更加稳定和高效。
5.理想的目标材料
射频溅射特别适用于绝缘材料。
在直流系统中，这些材料会积聚电荷，破坏溅射过程。
射频溅射中的交流电可以中和靶材上的电荷。
这使其成为在更多材料上沉积薄膜的理想选择。
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