溅射是化学和材料科学中用于在基底上沉积薄膜的一种物理过程。
它是指在高能离子轰击下，通常在真空环境中，将原子从固体目标材料中喷射出来。
这些喷射出的原子随后在基底上移动和附着，形成具有特定性质的薄膜。
什么是化学中的溅射过程？5 个关键步骤详解
1.真空环境和等离子体的形成
溅射在真空室中进行，在真空室中引入受控气体，通常是氩气。
气体被放电电离，形成等离子体。
在该等离子体中，氩原子失去电子，变成带正电的离子。
2.离子轰击目标
带正电荷的氩离子在电场的作用下加速冲向阴极（靶）。
靶是由要沉积在基底上的材料制成的。
当这些高能离子与靶材碰撞时，它们会将动能传递给靶材的原子，导致其中一些原子从靶材表面喷射出来。
3.靶原子的喷射和沉积
喷出的原子被称为 "原子"（adatoms），形成蒸汽流穿过真空室。
然后，这些原子撞击基底，附着在其表面并形成薄膜。
这一过程非常精确，可以制造出具有特定特性（如反射率、导电性或电阻）的薄膜。
4.沉积薄膜的特性
溅射工艺形成的薄膜均匀、极薄，并与基底紧密结合。
这是因为沉积发生在原子层面，确保了薄膜与基底之间几乎牢不可破的结合。
5.应用和多样性
溅射被广泛应用于各行各业，用于在硅、玻璃和塑料等基底上沉积薄膜。
它能够在材料之间形成原始界面，并能精确控制薄膜的特性和厚度，因而备受推崇。
这一工艺在现代技术中至关重要，可用于制造电子设备、光学镀膜以及其他各种需要精确和高质量薄膜的应用。
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