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石墨蒸发坩埚

薄膜沉积部件

石墨蒸发坩埚

货号 : KME07

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材料
石墨
配件
可选(陶瓷蒸发舟电极夹头)
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应用

石墨蒸发坩埚是用于高温应用,特别是薄膜沉积的专用容器。这些坩埚可在极端温度下有效地容纳和蒸发材料,从而促进基底上的薄膜沉积。石墨以其高热稳定性和出色的导电性而著称,是制造这些坩埚的主要材料。石墨的导热性确保了加热的高效性和均匀性,从而实现了稳定的汽化率。

  • 半导体制造、光学、材料研究。
  • 热蒸发、电子束蒸发涂层。
  • 物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)。
  • 在基板、板锗和板硅上形成金属、合金、氧化物和其他材料的薄膜。
  • 光学镀膜、聚酯薄膜镀铝、真空镀膜。
  • 微电子生产,太阳能电池、电线和包装材料的生产,管式炉的应用。

细节与零件

石墨蒸发坩埚详细说明 1

石墨蒸发坩埚细节 2

石墨蒸发坩埚细节 3

石墨蒸发坩埚

陶瓷蒸发舟电极夹头详情
陶瓷蒸发舟电极坩埚

陶瓷蒸发舟电极夹头细节 2

我们展示的坩埚有不同尺寸,也可根据要求定制尺寸。

优点

  • 耐高温、抗热震性好、导热率高。
  • 表面抛光,抗氧化,纯度高,对蒸发膜无污染。
  • 耐酸碱液体腐蚀性强。
  • 导电性和热效率好,化学性质稳定。
  • 抗机械冲击,热膨胀系数小,使用寿命长。
  • 强度高,随着温度的升高,石墨的强度也随之增加。

FAQ

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

什么是钨舟?

钨船是由钨金属制成的小型容器或托盘。在各种工业和实验室应用中,它们被设计用于在高温下盛放和运输材料。钨舟通常用于蒸发、烧结和热分析等过程。

使用钨舟有哪些优势?

钨舟在高温应用中具有多种优势。首先,钨的熔点极高,达到 3422°C,因此适合在温度极高的环境中使用。钨舟还具有出色的导热性,可实现高效热传导并均匀加热被加工材料。它们具有很高的机械强度,即使在高温下也能承受变形和翘曲。钨具有很强的耐化学腐蚀性,因此钨舟可与多种材料和环境兼容。此外,钨的蒸汽压较低,这意味着它的蒸汽污染极小,因此适合高纯度应用。钨舟的使用寿命长,可反复使用而不会出现明显的老化。

什么是石墨化炉?

石墨化炉是一种专用设备,用于在惰性气氛中通过高温处理将石油焦或煤焦油沥青等碳质材料转化为石墨。这一过程的温度通常在 2500 至 3000 摄氏度之间。

高纯度石墨坩埚是如何制造的?

高纯度石墨坩埚通常是通过等静压工艺制造的。在这种方法中,石墨粉被放置在橡胶模中,然后受到来自各个方向的高压。这种压力将石墨颗粒压制成致密均匀的坩埚形状。然后将坩埚加热至高温,去除杂质,提高纯度。

使用陶瓷坩埚有哪些优势?

与其他类型的坩埚相比,陶瓷坩埚具有多种优势。首先,陶瓷坩埚具有出色的耐热性,可以承受高温而不会开裂或变形。陶瓷坩埚还具有化学惰性,这意味着它们不会与大多数物质发生反应,因此适用于各种应用。陶瓷坩埚还无孔,确保在加热或熔化过程中不会污染或吸收材料。陶瓷坩埚非常耐用,使用寿命长,是反复使用的可靠选择。此外,陶瓷坩埚可制成各种形状和尺寸,以满足不同的实验或工业要求。

氧化铝坩埚的常见应用有哪些?

氧化铝坩埚广泛应用于冶金、陶瓷、化学和材料研究等行业。它们通常用于高温工艺,包括金属、合金和陶瓷的熔化、煅烧和烧结。氧化铝坩埚还可用于生产催化剂、玻璃和先进材料。在实验室中,氧化铝坩埚可用于样品制备、加热和化学反应。此外,氧化铝坩埚还可用于热分析技术,如差示扫描量热法 (DSC) 和热重分析 (TGA)。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

石墨化炉的主要应用有哪些?

石墨化炉在冶金、电子和航空航天等行业中至关重要。石墨化炉生产电极、坩埚和结构件等高质量石墨产品,这些产品对于各种高温应用至关重要。

什么是射频 PECVD?

RF PECVD 是射频等离子体增强化学气相沉积的缩写,是一种在低压化学气相沉积过程中,利用辉光放电等离子体影响工艺,在基底上制备多晶薄膜的技术。射频 PECVD 方法已在标准硅集成电路技术中得到广泛应用,该技术通常使用平面晶片作为基底。这种方法的优势在于薄膜制造成本低,沉积效率高。材料也可以沉积为分级折射率薄膜或具有不同特性的纳米薄膜堆。

高纯石墨坩埚的常见应用有哪些?

高纯石墨坩埚在冶金、铸造和实验室等行业有着广泛的应用。它们通常用于熔化和铸造有色金属,包括铝、铜和贵金属。高纯度石墨坩埚还可用于生产合金和高温陶瓷。在实验室的化学分析、光谱分析和样品制备等过程中,石墨坩埚也是必不可少的。此外,这些坩埚还可用于半导体工业中硅和其他半导体材料的熔化和生长。

陶瓷坩埚有哪些常见用途?

陶瓷坩埚在各行各业都有广泛的应用。它们通常用于实验室,在实验或样品制备过程中对物质进行加热、熔化或煅烧。陶瓷坩埚还广泛用于金属铸造和合金生产过程,因为它们可以承受熔化金属所需的高温。陶瓷坩埚还可用于陶瓷、玻璃和半导体的生产,在这些领域,精确的温度控制和耐化学性至关重要。此外,陶瓷坩埚还可用于制药和化工行业以及研发领域,在极端温度条件下对材料进行分析和测试。

使用氧化铝坩埚有哪些优势?

氧化铝坩埚在高温应用中具有多项优势。首先,氧化铝坩埚具有出色的抗热震性,可承受快速加热和冷却而不会出现裂纹。氧化铝坩埚还具有很高的耐化学性,因此适合与酸、碱和其他腐蚀性材料一起使用。它们的导电率低,有利于在某些应用中防止电气干扰。氧化铝坩埚还具有惰性,不会与大多数物质发生反应,可确保加工材料的纯度。此外,氧化铝坩埚使用寿命长,可在高温下反复使用。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

石墨化炉有哪些不同类型?

石墨化炉有多种类型,包括卧式高温石墨化炉、大型立式石墨化炉、连续式石墨化炉、负极材料石墨化炉、立式高温石墨化炉、超高温石墨化炉、IGBT 实验石墨化炉、高导热膜石墨化炉、碳材料底部放电石墨化炉和 2200°C 石墨真空炉。

射频 PECVD 如何工作?

射频 PECVD 的工作原理是在真空室中产生等离子体。将前驱体气体引入真空室,然后施加射频功率以产生电场。该电场导致前驱体气体电离,形成等离子体。等离子体中含有可与基底表面发生化学反应的活性物质,从而形成薄膜沉积。射频功率还有助于控制等离子体的能量,从而更好地控制薄膜的特性,如成分、均匀性和附着力。可以调整气体流速、压力和射频功率等工艺参数,以优化薄膜沉积工艺。

选择高纯度石墨坩埚时应考虑哪些因素?

在选择高纯石墨坩埚时,应考虑几个因素。首先,坩埚的尺寸和容量应与预期应用和需要熔化或加工的材料数量相匹配。还应评估坩埚的导热性、抗热震性和化学兼容性,以确保它们符合特定的工艺要求。重要的是要选择由高纯度的优质石墨材料制成的坩埚,以最大限度地减少污染并确保优异的性能。还应考虑坩埚的设计和结构,例如是否有便于操作的手柄或倾倒口。此外,建议咨询制造商或该领域的专家,以确保为特定应用选择最合适的高纯度石墨坩埚。

蒸发坩埚常用的材料有哪些?

蒸发坩埚通常由钨、钽、钼、石墨或陶瓷化合物等材料制成。这些材料熔点高、导热性好,适合蒸发过程中所需的高温条件。坩埚材料的选择取决于蒸发剂材料、所需薄膜特性和工艺参数等因素。

如何为我的应用选择合适的陶瓷坩埚?

在为特定应用选择陶瓷坩埚时,应考虑几个因素。首先,应确定应用所需的温度范围,因为不同类型的陶瓷具有不同的最高温度限制。选择能承受预期温度而不会变形或损坏的坩埚非常重要。其次,应考虑坩埚的尺寸和容量,以确保其能够容纳所需数量的材料。坩埚的形状和设计还应符合实验装置或工业流程。此外,还应评估坩埚与所用物质的化学兼容性,以确保不会产生不良反应或污染。咨询该领域的供应商或专家可帮助选择最适合特定应用的陶瓷坩埚。

如何处理和维护氧化铝坩埚?

正确处理和维护氧化铝坩埚对确保其使用寿命和最佳性能至关重要。在处理时,必须避免坩埚跌落或撞击,以防破裂或损坏。坩埚应存放在清洁干燥的环境中,以避免污染。有必要定期清洁坩埚,以清除任何残留材料或杂质。可使用软刷、温和的清洁剂或适用于氧化铝的溶剂进行清洁。建议在使用前预热坩埚,特别是在温度急剧变化时,以防止热冲击。应检查坩埚是否有裂缝、侵蚀或其他损坏,如果发现任何问题,应予以更换,以保持加工材料的质量。遵守制造商的维护和处理指南至关重要。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

使用蒸发舟有哪些优势?

蒸发舟在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们为材料的蒸发提供受控环境,确保对薄膜厚度和均匀性的精确控制。蒸发舟可承受高温并提供高效热传导,从而实现稳定的蒸发率。蒸发舟有各种尺寸和形状,可适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发舟可以沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。它们易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发舟是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

石墨化炉是如何工作的?

石墨化炉的工作原理是在惰性气氛中将碳质材料置于极高的温度下(通常为 2500 至 3000 摄氏度)。这一过程会重新排列材料中的碳原子,将其转化为石墨,石墨具有高导热性、低热膨胀性和化学惰性等独特性能。

射频 PECVD 有哪些优势?

射频 PECVD 在薄膜沉积方面具有多项优势。首先,它可以沉积高质量的薄膜,并对薄膜特性(如厚度、成分和均匀性)进行出色的控制。等离子体的使用提高了工艺的反应性,与传统的热 CVD 方法相比,能在更低的温度下沉积薄膜。射频 PECVD 还具有更好的阶跃覆盖率,可以沉积出高宽比结构的薄膜。另一个优势是能够沉积多种材料,包括氮化硅、二氧化硅、非晶硅和其他各种薄膜材料。该工艺具有高度可扩展性,可轻松集成到现有制造工艺中。此外,与其他薄膜沉积技术相比,射频 PECVD 是一种相对经济有效的方法。

使用蒸发坩埚有哪些优势?

蒸发坩埚在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们可为材料蒸发提供受控环境,从而实现对薄膜厚度和均匀性的精确控制。坩埚可承受高温并提供高效热传导,确保稳定的蒸发率。坩埚有各种尺寸和形状,以适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发坩埚还可沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。蒸发坩埚易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发坩埚是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

如何处理和维护陶瓷坩埚?

正确处理和维护陶瓷坩埚对确保其使用寿命和性能至关重要。在处理陶瓷坩埚时,一定要避免使其跌落或受到温度骤变的影响,因为这可能会引起热冲击,导致破裂或断裂。建议使用适当的工具(如钳子或手套)来处理热坩埚。陶瓷坩埚在使用后应逐渐冷却,然后再进行清洗。清洁时可使用温水和温和的清洁剂,然后彻底冲洗和干燥。重要的是要避免使用刺激性化学品或研磨材料,以免损坏陶瓷表面。应定期进行检查,查看是否有任何磨损、裂纹或褪色迹象,损坏的坩埚应予以更换,以确保实验或工业流程的安全性和准确性。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。

蒸发舟的典型使用寿命是多久?

蒸发舟的使用寿命取决于多个因素。这主要取决于蒸发舟所使用的材料、操作条件和使用频率。与陶瓷材料制成的蒸发舟相比,钨或钼等难熔金属制成的蒸发舟通常更耐用,使用寿命更长。只要处理得当、定期维护和采用适当的清洁程序,蒸发舟通常可用于多个沉积周期。不过,随着时间的推移,蒸发舟可能会出现磨损,如开裂或降解,这可能会缩短其使用寿命。重要的是要监控蒸发舟的状况,进行定期检查,并在必要时进行更换,以确保持续可靠的薄膜沉积。

使用石墨化炉有哪些优势?

使用石墨化炉的优点包括可以生产出具有优异导热性、低热膨胀性和化学惰性的优质石墨。这些特性使石墨成为冶金、电子和航空航天等行业广泛高温应用的理想材料。

应如何处理和维护蒸发坩埚?

应小心处理和维护蒸发坩埚,以确保其使用寿命和性能。每次使用前都应彻底清洁坩埚,清除之前沉积的残留物质。避免使用可能损坏坩埚表面的研磨材料。在装载和卸载过程中,应使用干净的手套或专用工具处理坩埚,以防止污染。不使用时,将坩埚存放在干燥清洁的环境中,以避免腐蚀或降解。必须定期检查坩埚是否有裂缝、缺陷或磨损迹象,以防止在蒸发过程中出现意外故障。按照制造商的建议进行退火或表面处理等特定维护程序,以延长坩埚的使用寿命。

蒸发舟可以重复使用吗?

蒸发舟可以重复使用,但这取决于几个因素。蒸发舟的状况、清洁度以及与不同蒸发材料的兼容性在决定其是否可以重复使用方面起着重要作用。如果蒸发舟状况良好,没有裂缝或缺陷,并已彻底清洁,通常可以重复用于后续沉积。但是,如果蒸发舟接触过活性材料或有降解迹象,则可能不适合重复使用。在重复使用蒸发舟时,要考虑到污染或意外反应的可能性。定期检查和适当的清洁程序对于保持蒸发舟的性能和确保其适合重复使用至关重要。

如何选择合适的蒸发舟材料?

选择合适的蒸发舟材料取决于几个因素。考虑蒸发材料的熔点,选择熔点较高的蒸发舟材料,以防止蒸发舟失效。此外,还要考虑蒸发舟材料与蒸发剂的相容性,以避免发生反应或污染。应评估舟的导热性和热容量,以便在蒸发过程中有效传热和控制温度。此外,还要考虑蒸发舟的机械性能,如强度和耐用性,以确保其能够承受反复的加热和冷却循环。
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