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应用
石墨蒸发坩埚是用于高温应用的专用容器,尤其适用于薄膜沉积。这些坩埚能在极高温度下高效地容纳和蒸发材料,从而促进薄膜在基板上的沉积。石墨以其高热稳定性和优异的导电性而闻名,是制造这些坩埚的主要材料。其导热性确保了高效均匀的加热,从而实现了恒定的汽化速率。
- 半导体制造、光学、材料研究。
- 热蒸发、电子束蒸发镀膜。
- 物理气相沉积 (PVD)、化学气相沉积 (CVD)。
- 在基板上形成金属、合金、氧化物和其他材料的薄膜,镀锗片、镀硅片。
- 光学镀膜、聚酯薄膜镀铝、真空镀膜。
- 微电子产品生产、太阳能电池生产、电线和包装材料、管式炉应用。
细节与部件





我们展示的坩埚有不同尺寸可供选择,也可根据要求定制尺寸。
优势
- 耐高温,良好的抗热震性,高导热性。
- 抛光表面,抗氧化,高纯度,不污染蒸发膜。
- 对酸碱液体有很强的耐腐蚀性。
- 良好的导电性和热效率,化学稳定性。
- 抗机械冲击,热膨胀系数小,使用寿命长。
- 高强度,随着温度升高,石墨的强度也随之增加。
FAQ
什么是热蒸发源?
高纯度石墨坩埚是如何制造的?
热蒸发源的主要类型有哪些?
高纯石墨坩埚的常见应用有哪些?
热蒸发源是如何工作的?
蒸发坩埚常用的材料有哪些?
选择高纯度石墨坩埚时应考虑哪些因素?
使用热蒸发源有哪些优势?
使用蒸发坩埚有哪些优势?
热蒸发源有哪些应用?
应如何处理和维护蒸发坩埚?
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