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石墨蒸发坩埚

薄膜沉积部件

石墨蒸发坩埚

货号 : KME07

价格根据 规格和定制情况变动


材料
石墨
配件
可选(陶瓷蒸发舟电极夹头)
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应用

石墨蒸发坩埚是用于高温应用,特别是薄膜沉积的专用容器。这些坩埚可在极端温度下有效地容纳和蒸发材料,从而促进基底上的薄膜沉积。石墨以其高热稳定性和出色的导电性而著称,是制造这些坩埚的主要材料。石墨的导热性确保了加热的高效性和均匀性,从而实现了稳定的汽化率。

  • 半导体制造、光学、材料研究。
  • 热蒸发、电子束蒸发涂层。
  • 物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)。
  • 在基板、板锗和板硅上形成金属、合金、氧化物和其他材料的薄膜。
  • 光学镀膜、聚酯薄膜镀铝、真空镀膜。
  • 微电子生产,太阳能电池、电线和包装材料的生产,管式炉的应用。

细节与零件

石墨蒸发坩埚详细说明 1

石墨蒸发坩埚细节 2

石墨蒸发坩埚细节 3

石墨蒸发坩埚

陶瓷蒸发舟电极夹头详情
陶瓷蒸发舟电极坩埚

陶瓷蒸发舟电极夹头细节 2

我们展示的坩埚有不同尺寸,也可根据要求定制尺寸。

优点

  • 耐高温、抗热震性好、导热率高。
  • 表面抛光,抗氧化,纯度高,对蒸发膜无污染。
  • 耐酸碱液体腐蚀性强。
  • 导电性和热效率好,化学性质稳定。
  • 抗机械冲击,热膨胀系数小,使用寿命长。
  • 强度高,随着温度的升高,石墨的强度也随之增加。

FAQ

什么是热蒸发源?

热蒸发源是热蒸发系统中用于在基底上沉积薄膜的设备。其工作原理是将材料(蒸发剂)加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。

高纯度石墨坩埚是如何制造的?

高纯度石墨坩埚通常是通过等静压工艺制造的。在这种方法中,石墨粉被放置在橡胶模中,然后受到来自各个方向的高压。这种压力将石墨颗粒压制成致密均匀的坩埚形状。然后将坩埚加热至高温,去除杂质,提高纯度。

热蒸发源的主要类型有哪些?

热蒸发源的主要类型包括电阻蒸发源、电子束蒸发源和闪蒸源。每种类型都使用不同的方法加热蒸发物,如电阻加热、电子束加热或直接接触热表面。

高纯石墨坩埚的常见应用有哪些?

高纯石墨坩埚在冶金、铸造和实验室等行业有着广泛的应用。它们通常用于熔化和铸造有色金属,包括铝、铜和贵金属。高纯度石墨坩埚还可用于生产合金和高温陶瓷。在实验室的化学分析、光谱分析和样品制备等过程中,石墨坩埚也是必不可少的。此外,这些坩埚还可用于半导体工业中硅和其他半导体材料的熔化和生长。

热蒸发源是如何工作的?

热蒸发源的工作原理是将电流通过电阻材料,使其加热至高温。热量传递到蒸发剂上,使其熔化和汽化。然后,蒸气通过真空室,凝结在基底上,形成薄膜。

蒸发坩埚常用的材料有哪些?

蒸发坩埚通常由钨、钽、钼、石墨或陶瓷化合物等材料制成。这些材料熔点高、导热性好,适合蒸发过程中所需的高温条件。坩埚材料的选择取决于蒸发剂材料、所需薄膜特性和工艺参数等因素。

选择高纯度石墨坩埚时应考虑哪些因素?

在选择高纯石墨坩埚时,应考虑几个因素。首先,坩埚的尺寸和容量应与预期应用和需要熔化或加工的材料数量相匹配。还应评估坩埚的导热性、抗热震性和化学兼容性,以确保它们符合特定的工艺要求。重要的是要选择由高纯度的优质石墨材料制成的坩埚,以最大限度地减少污染并确保优异的性能。还应考虑坩埚的设计和结构,例如是否有便于操作的手柄或倾倒口。此外,建议咨询制造商或该领域的专家,以确保为特定应用选择最合适的高纯度石墨坩埚。

使用热蒸发源有哪些优势?

热蒸发源的优点包括沉积率高、方向性好、均匀性好以及与各种材料兼容。此外,热蒸发光源还相对简单、经济实惠,因此可广泛应用于薄膜沉积领域。

使用蒸发坩埚有哪些优势?

蒸发坩埚在薄膜沉积工艺中具有多种优势。它们可为材料蒸发提供受控环境,从而实现对薄膜厚度和均匀性的精确控制。坩埚可承受高温并提供高效热传导,确保稳定的蒸发率。坩埚有各种尺寸和形状,以适应不同的蒸发系统和基底配置。蒸发坩埚还可沉积多种材料,包括金属、半导体和陶瓷。蒸发坩埚易于装卸,便于快速更换材料或调整工艺。总之,蒸发坩埚是薄膜沉积技术的重要工具,具有多功能性、可靠性和可重复性。

热蒸发源有哪些应用?

热蒸发源可用于各种应用,如生产光学涂层、半导体器件和各类薄膜。在需要精确控制基底材料沉积的行业中,热蒸发源尤其有用。

应如何处理和维护蒸发坩埚?

应小心处理和维护蒸发坩埚,以确保其使用寿命和性能。每次使用前都应彻底清洁坩埚,清除之前沉积的残留物质。避免使用可能损坏坩埚表面的研磨材料。在装载和卸载过程中,应使用干净的手套或专用工具处理坩埚,以防止污染。不使用时,将坩埚存放在干燥清洁的环境中,以避免腐蚀或降解。必须定期检查坩埚是否有裂缝、缺陷或磨损迹象,以防止在蒸发过程中出现意外故障。按照制造商的建议进行退火或表面处理等特定维护程序,以延长坩埚的使用寿命。
查看更多该产品的问题与解答

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