知识 扩散真空泵的工作原理是什么?(5 个关键步骤详解)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

扩散真空泵的工作原理是什么?(5 个关键步骤详解)

扩散真空泵通过汽化和冷凝流体(通常称为油)来捕获和抽取真空室中的气体分子。这一过程有助于实现高真空度。泵在运行时没有任何活动部件,依靠流体的特性和泵的设计来产生和维持真空。

5 个关键步骤说明

扩散真空泵的工作原理是什么?(5 个关键步骤详解)

1.加热流体

操作开始时,首先使用加热器加热扩散泵油。加热在锅炉中进行,使油达到沸腾温度。油的汽化至关重要,因为它能产生泵送动作所需的蒸汽流。

2.蒸汽压缩和喷射作用

上升的油蒸气在垂直的锥形堆栈中被压缩,堆栈的高度上有喷射口。这些喷射口呈一定角度,形成伞状的蒸汽流。这种蒸汽流旨在有效捕获真空室中的空气分子。

3.气体分子的捕获和传输

倾斜的喷嘴引导蒸汽流,从而将气体分子从真空室中吸出。由于蒸汽和气体分子之间的动量传递,高速蒸汽流将这些分子向下带走,远离真空室。

4.冷凝和释放

泵外部的冷却冷凝线圈可促进油蒸汽的冷凝。当油气冷却和冷凝时,捕获的气体分子会在泵底部附近释放。这一过程不仅能将油回收到系统中,还能确保从真空室中持续清除气体分子。

5.保持真空

泵顶部(与真空室相连)和底部之间的压差有助于降低真空室中的高真空度。这种压差通过泵内的汽化、捕获和冷凝过程的持续运行来维持。

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