扩散真空泵通过汽化和冷凝流体(通常称为油)来捕获和抽取真空室中的气体分子。这一过程有助于实现高真空度。泵在运行时没有任何活动部件,依靠流体的特性和泵的设计来产生和维持真空。
5 个关键步骤说明
1.加热流体
操作开始时,首先使用加热器加热扩散泵油。加热在锅炉中进行,使油达到沸腾温度。油的汽化至关重要,因为它能产生泵送动作所需的蒸汽流。
2.蒸汽压缩和喷射作用
上升的油蒸气在垂直的锥形堆栈中被压缩,堆栈的高度上有喷射口。这些喷射口呈一定角度,形成伞状的蒸汽流。这种蒸汽流旨在有效捕获真空室中的空气分子。
3.气体分子的捕获和传输
倾斜的喷嘴引导蒸汽流,从而将气体分子从真空室中吸出。由于蒸汽和气体分子之间的动量传递,高速蒸汽流将这些分子向下带走,远离真空室。
4.冷凝和释放
泵外部的冷却冷凝线圈可促进油蒸汽的冷凝。当油气冷却和冷凝时,捕获的气体分子会在泵底部附近释放。这一过程不仅能将油回收到系统中,还能确保从真空室中持续清除气体分子。
5.保持真空
泵顶部(与真空室相连)和底部之间的压差有助于降低真空室中的高真空度。这种压差通过泵内的汽化、捕获和冷凝过程的持续运行来维持。
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