溅射靶材的工作原理是利用高能粒子将原子从固体靶材中物理喷射出来，然后沉积到基底上形成薄膜。
该过程在真空环境中进行，以防止与空气或其他气体发生不必要的相互作用。
6 个关键步骤说明
1.真空环境
溅射靶材放置在真空室中。
这种环境至关重要，因为它可以防止靶材与空气或其他气体发生相互作用，以免干扰溅射过程。
真空还能确保从靶材喷射出的原子畅通无阻地到达基底。
2.高能粒子
溅射过程涉及用高能粒子（通常是离子）轰击靶材。
这些粒子具有数十电子伏特（eV）以上的动能。
这些粒子的一部分被电离，这就是溅射被认为是等离子体应用的原因。
3.原子喷射
当高能粒子撞击靶材表面时，它们会将能量传递给靶材中的原子。
这种能量转移非常明显，以至于会将原子从靶材中物理喷射（或 "踢出"）。
这种喷射是溅射的核心机制。
4.沉积到基底上
从靶材喷射出的原子飞向基底，基底通常安装在靶材的对面。
然后，这些原子沉积到基底上，形成薄膜。
沉积过程迅速而均匀，即使是塑料等对热敏感的材料，也能在不明显加热的情况下镀上金属或陶瓷。
5.粒子能量控制
对于敏感基底，真空室可在一定程度上充入惰性气体。
这种气体有助于控制喷出粒子的动能，使其在到达基底之前发生碰撞并失去一些速度，从而防止对基底造成损坏。
6.应用
溅射靶材广泛应用于各个领域，如微电子领域，将铝、铜和钛等材料的薄膜沉积到硅晶片上，以制造电子设备。
它们还用于生产薄膜太阳能电池、光电子和装饰涂层。
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