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比较分子束外延 (MBE) 和金属有机化学气相沉积 (MOCVD)，很明显，分子束外延有几个显著的优势，特别是在精度、控制及其对研发环境的适用性方面。
MBE 允许在原子层级沉积材料。
这种精度对于先进半导体器件的开发至关重要。
相比之下，MOCVD 虽然能够实现高通量和大规模生产，但可能无法提供同样的精确度。
2.适合研发
它能够探索新材料和设备结构。它能够精确控制沉积过程，使研究人员能够尝试各种配置和材料。
钨和钼坩埚具有优异的热性能和机械性能，常用于电子束蒸发工艺。
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